用于生物微粒捕獲的微陣列芯片的研究.pdf

1、微陣列技術提供了一種快速檢測蛋白質、核酸、細胞等生物微粒的方法。在生物、制藥、檢疫等許多領域中,生物微粒的捕獲是一項基礎性的工作。通過捕獲分離出樣品中不需要的生物微粒,實現(xiàn)對樣品的提純;通過捕獲特定的蛋白質分子或者細胞,可以用于疾病的診斷;生物傳感器件的表面修飾可以靠捕獲生物微粒到器件的特定位置來實現(xiàn)。
　　本文設計并制造了一種能夠捕獲溶液中的生物微粒的微陣列芯片。芯片采用n型硅片為材料,尺寸為22 mm×22 mm,捕獲陣列是6

2、0×60的微圓柱陣列。圓柱直徑為100μm,中心間距為150μm,高度為100μm。圓柱陣列通過光刻、濺射、剝離、ICP刻蝕等微電子工藝制備。在ICP刻蝕中,提出了增加基片溫度和刻蝕/鈍化時間比的方法抑制了刻蝕底部的“草地”;提出了在鈍化和刻蝕階段通入SF6和C4F8混合氣體的方法平滑了刻蝕側壁的粗糙程度,并通過多次試驗優(yōu)化了基片溫度、刻蝕/鈍化時間、混合氣體流量等參數(shù),取得了良好的刻蝕結果。
　　芯片的表面修飾分為納米Au顆粒的