垂直腔體表面發(fā)射液激光器理論特性與基于ISE TCAD的仿真研究.pdf

1、新型的光電器件垂直腔體表面發(fā)射激光器(VCSEL)具有極低的閾值電流及高的轉(zhuǎn)換效率，且共振腔極短而容易產(chǎn)生單一縱模，出射激光的發(fā)散角度較小，較易與光纖耦合。又由于其在制造時(shí)可直接在晶片上做測試并且易于集成二維陣列，因此成為多芯片組件(MCM)波導(dǎo)光互連技術(shù)的首選光源。
　　論文對(duì)VCSEL的原理、基本結(jié)構(gòu)進(jìn)行了論述，從半導(dǎo)體物理的角度討論了激光產(chǎn)生的條件，研究了半導(dǎo)體激光器的起振原理，分析了造成二極管激光器結(jié)構(gòu)不斷演變的關(guān)鍵動(dòng)力及

2、主要技術(shù)，并對(duì)激光器的光模式特性及求解光場的主流仿真方法進(jìn)行了簡述。
　　以激光原理為基礎(chǔ)，從兩個(gè)基本速率方程出發(fā)，詳細(xì)推導(dǎo)了矩形截面一般結(jié)構(gòu)VCSEL的閾值電流表達(dá)式，該公式表明VCSEL的閾值電流主要與腔體損耗、材料增益曲線、實(shí)際發(fā)光區(qū)域及泄漏電流程度有關(guān)。通過對(duì)表達(dá)式的討論得出了幾種可以減小閾值電流的辦法，包括降低腔體損耗，減小有源區(qū)發(fā)光孔徑及采用應(yīng)變量子阱材料等。針對(duì)氧化限制型內(nèi)腔接觸式結(jié)構(gòu)VCSEL，提出了一種可能的閾值

3、電流修正形式。
　　論文研究了適用于二維量子阱二極管激光器仿真的載流子“捕獲”模型，給出了器件不同區(qū)域?qū)?yīng)的不同的連續(xù)性方程。利用ISE TCAD對(duì)具體的矩形截面VCSEL結(jié)構(gòu)進(jìn)行了仿真，給出了VCSEL基本P-I特性、I-V特性、材料增益隨注入電流變化關(guān)系及近場光強(qiáng)分布的仿真結(jié)果。仿真結(jié)果顯示，理想情況下VCSEL的閾值電流量級(jí)在數(shù)毫安以下，隨著發(fā)光孔徑的增大，閾值電流增加，一階橫模近場光強(qiáng)分布更加分散。當(dāng)發(fā)光有源區(qū)具有統(tǒng)一的電