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1、垂直腔面發(fā)射激光器作為新結(jié)構(gòu)半導(dǎo)體激光器，具有表面光輸出、易于二維集成，圓形對(duì)稱光束、與光纖耦合效率高以及功率損耗低、使用壽命長(zhǎng)等優(yōu)點(diǎn)，在光互聯(lián)、光通信以及大規(guī)模激光顯示方面等方面得到了廣泛應(yīng)用。
本論文細(xì)致闡述了VCSEL的基本原理及器件光束質(zhì)量的因素。針對(duì)傳統(tǒng)VCSEL圓形電極結(jié)構(gòu)，具有電流注入不均勻以及光束質(zhì)量差的問題，本文提出了一種新型電極結(jié)構(gòu)的VCSEL設(shè)計(jì)方法，即放射式電極結(jié)構(gòu)VCSEL，從而提高電流注入的均勻性和
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