超聲引線鍵合聲學(xué)系統(tǒng)技術(shù)研究.pdf

1、超聲引線鍵合聲學(xué)系統(tǒng)是超聲引線鍵合機(jī)的核心組成部分，其設(shè)計(jì)及加工的好壞直接影響鍵合效果。本文的研究目的是提高超聲引線鍵合聲學(xué)系統(tǒng)的聲學(xué)特性與制造方法。本論文的主要內(nèi)容安排如下：
　　(1)指出引線鍵合技術(shù)所屬領(lǐng)域，簡(jiǎn)要概括微電子封裝領(lǐng)域的發(fā)展現(xiàn)狀與趨勢(shì)，闡述課題的研究背景和意義，綜述國(guó)內(nèi)外引線鍵合裝備和超聲引線鍵合聲學(xué)系統(tǒng)的研究情況以及存在的問(wèn)題，針對(duì)目前研究中存在的問(wèn)題提出本文的主要研究?jī)?nèi)容。
　　(2)超聲引線鍵合聲學(xué)系

2、統(tǒng)設(shè)計(jì)。運(yùn)用四端網(wǎng)絡(luò)法，建立換能器和復(fù)合變幅桿整體的四端網(wǎng)絡(luò)模型，推導(dǎo)出四端網(wǎng)絡(luò)的各系數(shù)矩陣，通過(guò)求解系數(shù)矩陣相關(guān)參數(shù)，推導(dǎo)出聲學(xué)系統(tǒng)的頻率方程。然后確定諧振頻率為64kHZ的聲學(xué)系統(tǒng)的換能器、變幅桿、及壓電陶瓷等零部件的選材、結(jié)構(gòu)尺寸等，采用傳統(tǒng)計(jì)算方法和有限元模擬方式計(jì)算其他參數(shù)。設(shè)計(jì)出各項(xiàng)聲學(xué)參數(shù)符合要求的聲學(xué)系統(tǒng)。
　　(3)超聲引線鍵合聲學(xué)系統(tǒng)制造。對(duì)聲學(xué)系統(tǒng)進(jìn)行加工工藝的研究。分析聲學(xué)系統(tǒng)所需加工要素，指出聲學(xué)系統(tǒng)加工

3、難點(diǎn)在于復(fù)合變幅桿圓錐面上斜小孔的加工，分析斜小孔加工方法與工藝，針對(duì)該斜小孔加工問(wèn)題設(shè)計(jì)加工方案，采用超聲電火花復(fù)合加工方法對(duì)斜小孔加工，加工出聲學(xué)系統(tǒng)各零部件，然后裝配出樣機(jī)。
　　(4)超聲引線鍵合聲學(xué)系統(tǒng)測(cè)試與實(shí)驗(yàn)。對(duì)所設(shè)計(jì)的聲學(xué)系統(tǒng)進(jìn)行聲學(xué)系統(tǒng)測(cè)試與研究。利用超聲阻抗測(cè)試儀測(cè)量聲學(xué)系統(tǒng)諧振頻率、阻抗以及品質(zhì)因數(shù)等參數(shù)；采用日本基恩士公司生產(chǎn)的LK-G5000系列激光位移傳感器進(jìn)行位移、速度及加速度的測(cè)量；對(duì)鉑金絲進(jìn)行超聲