引線鍵合機伺服控制系統(tǒng)的研究與設計.pdf

1、引線鍵合機是后道封裝的核心設備，直接決定著微電子封裝的質(zhì)量、性能、可靠性和成本。隨著微電子封裝小型化、薄型化、高密度化的發(fā)展，對引線鍵合機性能的要求也越來越高，高速度、高加速度、高精度將是其發(fā)展方向。論文對線性音圈電機等主要環(huán)節(jié)進行了分析、建模，研究并設計了基于PID的全閉環(huán)伺服控制系統(tǒng)。 論文對國、內(nèi)外相關技術進行了比較分析，確立了基于PID整定、零傳動的控制方案。通過對引線鍵合機控制系統(tǒng)各主要環(huán)節(jié)的建模與分析，設計了高性能的

2、PID伺服控制算法，深入分析了比例環(huán)、微分環(huán)、積分環(huán)的作用及其對系統(tǒng)性能的影響，并采取了算法優(yōu)化、參數(shù)優(yōu)化、擬合補償?shù)雀纳拼胧?。論文分析了各分系統(tǒng)的技術特點，提出了各自的設計原則和指標；設計了以工控機為控制平臺、基于高速DSP的全閉環(huán)伺服控制系統(tǒng)；編寫了基于PID的運動控制程序、主程序。設計了高速可靠的實時性數(shù)據(jù)通訊系統(tǒng)，在此基礎上，實現(xiàn)了實時化在線調(diào)試功能。論文系統(tǒng)分析了失效模型、誤差原因，進行了動態(tài)自診斷設計，提高了可靠性和生產(chǎn)效率