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文檔簡介
1、第二代YBa2Cu3O7-δ(YBCO)高溫超導帶材因其高的臨界溫度、低的制備成本、良好的電學性能等優(yōu)點,在強電領(lǐng)域中受到了全世界的關(guān)注。因此在超導電動機、發(fā)電機、儲能系統(tǒng)、電纜方面有良好的應(yīng)用前景。目前制備YBCO超導層方法很多,而金屬有機化學氣相沉積(MOCVD)法能夠快速、連續(xù)沉積YBCO薄膜,因此具有極大的開發(fā)價值。
本論文是基于自制的MOCVD系統(tǒng),在沉積有Y2O3/YSZ/CeO2緩沖層的金屬基帶上進行YBCO薄膜
2、制備工藝的研究,為后期規(guī)?;苽鋂BCO奠定基礎(chǔ)。研究內(nèi)容如下:
首先,對自制MOCVD系統(tǒng)進行進一步改進。通過對進液裝置中的噴口進行了優(yōu)化,降低了發(fā)生堵塞的幾率,并使金屬有機源能以霧狀的形式進入蒸發(fā)皿,有利于閃蒸的進行。同時將反應(yīng)腔中的加熱方式,由電阻絲加熱改成了由鹵鎢燈提供熱源的光輔助式加熱。
其次,改善金屬有機Ba源的制備方式。通過添加助配體的方式,有效降低了Ba源的蒸發(fā)溫度,提高了Ba源的利用率,為研究的順利
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