MOCVD法制備YBCO帶材超導層工藝研究.pdf

1、第二代YBa2Cu3O7-δ（YBCO）高溫超導帶材因其高的臨界溫度、低的制備成本、良好的電學性能等優(yōu)點，在強電領(lǐng)域中受到了全世界的關(guān)注。因此在超導電動機、發(fā)電機、儲能系統(tǒng)、電纜方面有良好的應(yīng)用前景。目前制備YBCO超導層方法很多，而金屬有機化學氣相沉積（MOCVD）法能夠快速、連續(xù)沉積YBCO薄膜，因此具有極大的開發(fā)價值。
　　本論文是基于自制的MOCVD系統(tǒng)，在沉積有Y2O3/YSZ/CeO2緩沖層的金屬基帶上進行YBCO薄膜

2、制備工藝的研究，為后期規(guī)?；苽鋂BCO奠定基礎(chǔ)。研究內(nèi)容如下：
　　首先，對自制MOCVD系統(tǒng)進行進一步改進。通過對進液裝置中的噴口進行了優(yōu)化，降低了發(fā)生堵塞的幾率，并使金屬有機源能以霧狀的形式進入蒸發(fā)皿，有利于閃蒸的進行。同時將反應(yīng)腔中的加熱方式，由電阻絲加熱改成了由鹵鎢燈提供熱源的光輔助式加熱。
　　其次，改善金屬有機Ba源的制備方式。通過添加助配體的方式，有效降低了Ba源的蒸發(fā)溫度，提高了Ba源的利用率，為研究的順利