無氟感光YBCO凝膠薄膜制備及其陣列研究.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、用YBCO薄膜制備的高溫超導紅外陣列探測器具有噪聲小，靈敏度高，功耗低等優(yōu)點，在天文、軍事等領域發(fā)揮著重要的作用。采用傳統(tǒng)的微細加工技術制備YBCO陣列，大都不可避免的對其超導性能產生影響，因此，需要研究一種制備高性能YBCO陣列的新方法。YBCO薄膜的無氟溶膠-凝膠制備工藝具有環(huán)境友好，熱處理周期短等優(yōu)點，本文在無氟溶膠-凝膠工藝基礎上，添加化學修飾劑苯酰丙酮(BzAcH)對YBCO溶膠進行改性，合成了穩(wěn)定的、成膜性良好的無氟感光YB

2、CO溶膠，并在薄膜感光的基礎上制備YBCO陣列。
　　首先，以釔、鋇、銅的醋酸鹽為原料，BzAcH為化學修飾劑，甲醇為溶劑，配制出了穩(wěn)定的、具有金屬螯合物的無氟YBCO溶膠，用該溶膠制備的凝膠薄膜在330nm附近出現(xiàn)紫外吸收峰。利用相應波長的紫外光照射，可使凝膠薄膜中的螫合物分解成難溶于有機溶劑的結構，結合有機溶劑溶洗，可以實現(xiàn)YBCO凝膠薄膜的微細加工。同時，對影響YBCO圖形質量的因素進行了討論。
　　進一步利用該溶膠在

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