

版權(quán)說明:本文檔由用戶提供并上傳,收益歸屬內(nèi)容提供方,若內(nèi)容存在侵權(quán),請(qǐng)進(jìn)行舉報(bào)或認(rèn)領(lǐng)
文檔簡(jiǎn)介
1、工件臺(tái)系統(tǒng)是極紫外光刻(EUV)的一個(gè)關(guān)鍵子系統(tǒng)。極紫外光刻機(jī)采用步進(jìn)掃描曝光方式,成像質(zhì)量不僅取決于光學(xué)系統(tǒng)的質(zhì)量,還取決于工件臺(tái)的動(dòng)態(tài)定位,因此工件臺(tái)系統(tǒng)機(jī)械結(jié)構(gòu)的動(dòng)態(tài)性能和光學(xué)系統(tǒng)的質(zhì)量同樣重要。工件臺(tái)的運(yùn)行精度、速度、加速度以及動(dòng)態(tài)定位是影響整機(jī)成像質(zhì)量、套刻精度和產(chǎn)率的重要因素。因此在研發(fā)階段對(duì)工件臺(tái)系統(tǒng)的動(dòng)態(tài)分析就顯得尤為重要。
通過分析國內(nèi)外先進(jìn)超精密工件臺(tái)結(jié)構(gòu)形式,對(duì)工件臺(tái)關(guān)鍵技術(shù)進(jìn)行了研究。分析了真空平衡型氣
2、浮支撐的工作原理,推導(dǎo)出數(shù)學(xué)模型,并進(jìn)行了承載力及剛度分析;對(duì)工件臺(tái)整體方案進(jìn)行了分析,并對(duì)直線電機(jī)及氣浮導(dǎo)軌結(jié)構(gòu)形式進(jìn)行了分析;針對(duì)微動(dòng)平臺(tái)微動(dòng)特性,運(yùn)用幾何分析方法,對(duì)其進(jìn)行了運(yùn)動(dòng)分析,以解釋其微動(dòng)補(bǔ)償作用,并對(duì)微動(dòng)臺(tái)部分進(jìn)行了結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)。
運(yùn)用有限元分析軟件ANSYS對(duì)工件臺(tái)系統(tǒng)進(jìn)行了靜力分析,模態(tài)分析以及瞬態(tài)分析。通過靜力分析找出工件臺(tái)靜力變形最大位置,為結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)以及系統(tǒng)安裝提供依據(jù)。對(duì)工件臺(tái)整機(jī)進(jìn)行了模態(tài)分析,找出結(jié)構(gòu)
3、設(shè)計(jì)的薄弱環(huán)節(jié)。由于承載微動(dòng)臺(tái)決定了系統(tǒng)最終定位精度,因此對(duì)承載微動(dòng)臺(tái)部分單獨(dú)進(jìn)行模態(tài)分析。運(yùn)用瞬態(tài)分析方法對(duì)工件臺(tái)動(dòng)態(tài)特性進(jìn)行了分析,分析其在不同阻尼下的動(dòng)態(tài)響應(yīng)。
嘗試將拓?fù)鋬?yōu)化以及參數(shù)化建模技術(shù)引入結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)之中。對(duì)承載微動(dòng)臺(tái)進(jìn)行基于靜態(tài)剛度以及動(dòng)態(tài)剛度的拓?fù)鋬?yōu)化分析。利用ANSYS中的APDL語言對(duì)承載微動(dòng)臺(tái)進(jìn)行參數(shù)化建模及二次開發(fā),將整個(gè)有限元分析過程參數(shù)化。對(duì)拓?fù)鋬?yōu)化后模型進(jìn)行靈敏度分析,運(yùn)用ANSYS優(yōu)化模塊對(duì)其進(jìn)
溫馨提示
- 1. 本站所有資源如無特殊說明,都需要本地電腦安裝OFFICE2007和PDF閱讀器。圖紙軟件為CAD,CAXA,PROE,UG,SolidWorks等.壓縮文件請(qǐng)下載最新的WinRAR軟件解壓。
- 2. 本站的文檔不包含任何第三方提供的附件圖紙等,如果需要附件,請(qǐng)聯(lián)系上傳者。文件的所有權(quán)益歸上傳用戶所有。
- 3. 本站RAR壓縮包中若帶圖紙,網(wǎng)頁內(nèi)容里面會(huì)有圖紙預(yù)覽,若沒有圖紙預(yù)覽就沒有圖紙。
- 4. 未經(jīng)權(quán)益所有人同意不得將文件中的內(nèi)容挪作商業(yè)或盈利用途。
- 5. 眾賞文庫僅提供信息存儲(chǔ)空間,僅對(duì)用戶上傳內(nèi)容的表現(xiàn)方式做保護(hù)處理,對(duì)用戶上傳分享的文檔內(nèi)容本身不做任何修改或編輯,并不能對(duì)任何下載內(nèi)容負(fù)責(zé)。
- 6. 下載文件中如有侵權(quán)或不適當(dāng)內(nèi)容,請(qǐng)與我們聯(lián)系,我們立即糾正。
- 7. 本站不保證下載資源的準(zhǔn)確性、安全性和完整性, 同時(shí)也不承擔(dān)用戶因使用這些下載資源對(duì)自己和他人造成任何形式的傷害或損失。
最新文檔
- 極紫外光刻機(jī)工件臺(tái)精密機(jī)械及控制相關(guān)技術(shù).pdf
- 光刻機(jī)結(jié)構(gòu)動(dòng)力學(xué)建模與仿真.pdf
- 光刻機(jī)掩模臺(tái)動(dòng)力學(xué)建模與分析.pdf
- 光刻機(jī)工件臺(tái)與掩模臺(tái)同步控制研究.pdf
- 光刻機(jī)工件臺(tái)與掩模臺(tái)同步控制算法研究及實(shí)現(xiàn).pdf
- 光刻機(jī)掩模臺(tái)系統(tǒng)的動(dòng)力學(xué)分析.pdf
- 光刻機(jī)工件臺(tái)六自由度測(cè)量系統(tǒng)研究.pdf
- 紫外光刻仿真及掩模優(yōu)化設(shè)計(jì)研究.pdf
- 光刻機(jī)雙工件臺(tái)系統(tǒng)的FMECA分析.pdf
- 極紫外光刻掩模熱變形及其對(duì)光刻性能的影響.pdf
- 光刻機(jī)工件臺(tái)系統(tǒng)傳感器數(shù)據(jù)采集卡的設(shè)計(jì)與實(shí)現(xiàn).pdf
- 光刻機(jī)雙工件臺(tái)軌跡規(guī)劃算法研究.pdf
- 雙工件臺(tái)光刻機(jī)虛擬現(xiàn)實(shí)三維仿真平臺(tái)設(shè)計(jì).pdf
- 極紫外光刻投影光學(xué)系統(tǒng)優(yōu)化設(shè)計(jì).pdf
- 光刻機(jī)雙工件臺(tái)系統(tǒng)上位機(jī)軟件設(shè)計(jì).pdf
- 極紫外光刻聚光鏡冷卻優(yōu)化及光機(jī)熱分析.pdf
- 極紫外光刻反射鏡瞬態(tài)熱和結(jié)構(gòu)變形分析.pdf
- 應(yīng)用于極紫外光刻光源的脈沖電源研究.pdf
- 球頭銑削動(dòng)力學(xué)建模及仿真.pdf
- 光刻機(jī)六自由度工件臺(tái)控制系統(tǒng)設(shè)計(jì).pdf
評(píng)論
0/150
提交評(píng)論