2023年全國(guó)碩士研究生考試考研英語(yǔ)一試題真題(含答案詳解+作文范文)_第1頁(yè)
已閱讀1頁(yè),還剩56頁(yè)未讀, 繼續(xù)免費(fèi)閱讀

下載本文檔

版權(quán)說(shuō)明:本文檔由用戶(hù)提供并上傳,收益歸屬內(nèi)容提供方,若內(nèi)容存在侵權(quán),請(qǐng)進(jìn)行舉報(bào)或認(rèn)領(lǐng)

文檔簡(jiǎn)介

1、以步進(jìn)掃描光刻機(jī)為代表的集成電路制造設(shè)備是光、機(jī)、電一體化的高精尖產(chǎn)品,其設(shè)計(jì)和制造集中體現(xiàn)了相關(guān)學(xué)科中最高水平的研究成果。掩模臺(tái)是光刻機(jī)的關(guān)鍵分系統(tǒng),其定位精度及其與工件臺(tái)的同步運(yùn)動(dòng)精度決定了光刻機(jī)的系統(tǒng)精度,并最終決定了光刻機(jī)所能實(shí)現(xiàn)的光刻特征線(xiàn)寬。掩模臺(tái)分系統(tǒng)零部件眾多,連接關(guān)系復(fù)雜,系統(tǒng)任何微小的擾動(dòng)都會(huì)對(duì)光刻質(zhì)量產(chǎn)生影響,因而建立其精確動(dòng)力學(xué)模型、分析它的動(dòng)力學(xué)特性具有重要意義。
   本文用線(xiàn)性彈簧-阻尼力等效剛體之

2、間的柔性連接,結(jié)合有限元分析的結(jié)果對(duì)掩模臺(tái)分系統(tǒng)進(jìn)行簡(jiǎn)化,建立了掩模臺(tái)分系統(tǒng)的SimMechanics模型。采用振動(dòng)試驗(yàn)和有限元分析相結(jié)合的方法,獲得了掩模臺(tái)分系統(tǒng)的動(dòng)力學(xué)參數(shù),得到了掩模臺(tái)分系統(tǒng)比較精確的動(dòng)力學(xué)模型。用拉格朗日方法推導(dǎo)出多剛體系統(tǒng)動(dòng)力學(xué)方程,并以推導(dǎo)出的多剛體系統(tǒng)動(dòng)力學(xué)方程為基礎(chǔ),在Matlab 環(huán)境下開(kāi)發(fā)出了振動(dòng)分析模塊。利用開(kāi)發(fā)出的振動(dòng)分析模塊,對(duì)掩模臺(tái)分系統(tǒng)進(jìn)行了振動(dòng)特性分析,獲得了掩模臺(tái)分系統(tǒng)中主要部件的振動(dòng)特

溫馨提示

  • 1. 本站所有資源如無(wú)特殊說(shuō)明,都需要本地電腦安裝OFFICE2007和PDF閱讀器。圖紙軟件為CAD,CAXA,PROE,UG,SolidWorks等.壓縮文件請(qǐng)下載最新的WinRAR軟件解壓。
  • 2. 本站的文檔不包含任何第三方提供的附件圖紙等,如果需要附件,請(qǐng)聯(lián)系上傳者。文件的所有權(quán)益歸上傳用戶(hù)所有。
  • 3. 本站RAR壓縮包中若帶圖紙,網(wǎng)頁(yè)內(nèi)容里面會(huì)有圖紙預(yù)覽,若沒(méi)有圖紙預(yù)覽就沒(méi)有圖紙。
  • 4. 未經(jīng)權(quán)益所有人同意不得將文件中的內(nèi)容挪作商業(yè)或盈利用途。
  • 5. 眾賞文庫(kù)僅提供信息存儲(chǔ)空間,僅對(duì)用戶(hù)上傳內(nèi)容的表現(xiàn)方式做保護(hù)處理,對(duì)用戶(hù)上傳分享的文檔內(nèi)容本身不做任何修改或編輯,并不能對(duì)任何下載內(nèi)容負(fù)責(zé)。
  • 6. 下載文件中如有侵權(quán)或不適當(dāng)內(nèi)容,請(qǐng)與我們聯(lián)系,我們立即糾正。
  • 7. 本站不保證下載資源的準(zhǔn)確性、安全性和完整性, 同時(shí)也不承擔(dān)用戶(hù)因使用這些下載資源對(duì)自己和他人造成任何形式的傷害或損失。

最新文檔

評(píng)論

0/150

提交評(píng)論