雙工件臺光刻機虛擬現(xiàn)實三維仿真平臺設(shè)計.pdf

1、光刻技術(shù)與半導(dǎo)體集成電路地位的日益突出,而仿真對光刻機新型樣機的研發(fā)與集成電路的生產(chǎn)意義重大,高質(zhì)量的仿真技術(shù)可以縮短開發(fā)周期、降低研究成本、提高光刻機性能進而增強集成電路的生產(chǎn)質(zhì)量。為了克服傳統(tǒng)半物理仿真平臺可視化的局限性,本文以國家科技專項《光刻機樣機研發(fā)》為背景,開發(fā)了高真實感雙工件臺光刻機虛擬現(xiàn)實三維仿真平臺。
　　首先,針對雙工件臺光刻機虛擬現(xiàn)實仿真平臺所需實體建模問題,重點分析了基于圖像空間、基于離散矢量與直接實體造型

2、算法,使用結(jié)合B-rep與CSG的HybridModeling直接實體混合造型算法對光刻機掩模臺系統(tǒng)、雙工件臺系統(tǒng)的運動參考部件三維實體進行創(chuàng)建,在此基礎(chǔ)上,通過實驗研究了系統(tǒng)零件的簡化建模方法,對比分析了其模型建立效果,采用布爾運算法,實現(xiàn)了零件實體建模。討論了系統(tǒng)零部件的裝配方案,在Pro/ENGINEERING Wildlife中完成了掩模臺、雙工件臺系統(tǒng)的零件與運動參考部件相對空間位置的裝配。
　　其次,詳細分析了虛擬現(xiàn)實

3、場景仿真過程中光刻機掩模臺、雙工件臺系統(tǒng)宏動、微動運動狀態(tài)與其各個執(zhí)行機構(gòu)之間的耦合關(guān)系,基于現(xiàn)實的運動關(guān)系并結(jié)合三維模型結(jié)構(gòu)對空間中運動的掩模臺、工件臺微動臺各個自由度與各個執(zhí)行電機之間運動關(guān)系進行了探討。研究了光刻機虛擬現(xiàn)實三維仿真平臺場景的設(shè)計方案,在OpenInventor系統(tǒng)中實現(xiàn)了三維場景的創(chuàng)建,零件與定位部件實體邏輯位置的裝配,并利用光刻機系統(tǒng)運動關(guān)系的分析結(jié)果,完成了運動控制與交互接口以及仿真平臺本地數(shù)據(jù)文件讀取與存儲功