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文檔簡(jiǎn)介
1、半導(dǎo)體器件的尺寸隨著摩爾定律的不斷縮小是支撐集成電路和信息技術(shù)快
速發(fā)展的原動(dòng)力。但當(dāng)前主流的非揮發(fā)性存儲(chǔ)技術(shù)——基于電荷存儲(chǔ)機(jī)制的
Flash 存儲(chǔ)器隨工藝技術(shù)代拓展遇到嚴(yán)重的技術(shù)瓶頸,無法滿足信息技術(shù)迅速發(fā)
展對(duì)超高密度存儲(chǔ)的要求。為了延續(xù)摩爾定律的前進(jìn)腳步,許多基于其它存儲(chǔ)概
念的新型非揮發(fā)性存儲(chǔ)技術(shù)受到科研界和學(xué)術(shù)界的廣泛關(guān)注。其中,基于薄膜材
料的可逆電致電
2、阻效應(yīng)的阻變隨機(jī)存取存儲(chǔ)器(resistive random access memory,
RRAM),因其具有簡(jiǎn)單的器件結(jié)構(gòu)、低壓低功耗操作、高速擦寫和極佳的尺寸
縮小性等優(yōu)勢(shì),并且其材料與當(dāng)前CMOS 工藝兼容,被認(rèn)為是下一代非揮發(fā)性
存儲(chǔ)器的最有力競(jìng)爭(zhēng)者之一。本文圍繞如何改善基于二元金屬氧化物的RRAM
器件的存儲(chǔ)特性,開展了材料的摻雜改性、器件的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)和阻變機(jī)理等方面的<
3、br> 研究工作。
針對(duì)基于二元金屬氧化物的RRAM在阻變性能方面存在的不足,我們提出
了采用摻雜的手段對(duì)金屬氧化物材料進(jìn)行改性的方法來改善其存儲(chǔ)特性。系統(tǒng)地
研究了Au/Cr/ZrO2:Zr/n+-Si,Au/Cr/ZrO2:Au/n+-Si,Cu/ZrO2:Ti/Pt 這三種材料結(jié)構(gòu)
的阻變特性和電阻轉(zhuǎn)變的物理機(jī)制,并通過材料分析手段研究了摻雜物質(zhì)對(duì)二元
金
4、屬氧化物材料的影響,對(duì)摻雜元素所起的作用進(jìn)行了分類和總結(jié)。這項(xiàng)研究結(jié)
果為如何提高阻變材料的阻變特性提供了理論上的指導(dǎo)。
基于固態(tài)電解液材料體系的RRAM是目前阻變領(lǐng)域內(nèi)最重要的一種器件類
型。這類RRAM的阻變現(xiàn)象主要是由金屬性的導(dǎo)電細(xì)絲的形成和破滅導(dǎo)致的。
雖然固態(tài)電解液類型的RRAM 具有高速、低功耗和優(yōu)秀的可縮小性等優(yōu)點(diǎn),但
是,由于金屬性導(dǎo)電細(xì)絲成核和生長(zhǎng)過
5、程的隨機(jī)性本質(zhì),導(dǎo)致這類RRAM的阻
變參數(shù)存在較大的離散性,限制了其存儲(chǔ)性能的進(jìn)一步提高。為了解決這個(gè)關(guān)鍵
性問題,我們提出了一種在下電極表面增加一層金屬性納米晶層的新型RRAM
器件結(jié)構(gòu)來達(dá)到控制導(dǎo)電細(xì)絲生長(zhǎng)過程的目的。通過對(duì)Ag/ZrO2/Cu NC/Pt 原型
器件的阻變性能的系統(tǒng)研究,驗(yàn)證了這種結(jié)構(gòu)對(duì)阻變參數(shù)的離散性具有明顯的改
善效果。通過透射電鏡 (tr
6、ansmission electron microscopy, TEM)的分析方法獲得
了Ag/ZrO2/Cu NC/Pt 器件中生長(zhǎng)在Cu 納米晶上的導(dǎo)電細(xì)絲的TEM 照片,直觀
地證明了納米晶層對(duì)導(dǎo)電細(xì)絲生長(zhǎng)位置和方向的控制作用,并結(jié)合電場(chǎng)分布的模
擬結(jié)果,建立了電場(chǎng)控制納米晶生長(zhǎng)過程的物理模型。同時(shí),通過TEM的材料
表征方法獲得了導(dǎo)電細(xì)絲的微觀成分,建立了導(dǎo)電細(xì)絲形成和破滅
7、的微觀物理模
型。
采用多值存儲(chǔ)技術(shù)來提升下一代非揮發(fā)性存儲(chǔ)器的存儲(chǔ)密度是當(dāng)前發(fā)展高
密度存儲(chǔ)技術(shù)的重要途徑之一。我們?cè)诩{米晶控制導(dǎo)電細(xì)絲生長(zhǎng)的理論基礎(chǔ)上,
制備了與CMOS 工藝兼容的Cu/ZrO2/Cu NC/Pt 結(jié)構(gòu)的RRAM 器件,并對(duì)其存儲(chǔ)
特性進(jìn)行了系統(tǒng)的研究。這種結(jié)構(gòu)的存儲(chǔ)器具有低操作電壓、均勻的轉(zhuǎn)變參數(shù)和
2 bit/cell的多值存儲(chǔ)
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