倒置式微細電火花超聲復合加工裝置研究.pdf

1、隨著科學技術和工業(yè)生產(chǎn)的進步以及微機電系統(tǒng)的發(fā)展，具有大深徑比深微孔零件的應用日趨廣泛。微細電火花加工技術以其非接觸加工、容易實現(xiàn)大深徑比等的特點在深微孔加工中得到了廣泛的應用。深微孔電加工是微細電加工技術乃至微制造技術的一個重要方面，而深微孔的微細程度和深度是微細加工能力的重要標志。如果能實現(xiàn)大深徑比深微孔加工，將對提升我國微細電火花加工和微制造技術水平具有重要的推動作用。
　　妨礙深微孔電火花加工深度和加工速度的重要原因在于放

2、電蝕除物在孔底部的沉淀和積聚。為了實現(xiàn)大深徑比深微孔的加工，本文提出了倒置式微細電火花超聲復合加工的方法，即采用倒置式結構配置布局、輔以工件或工具電極做超聲頻振動的微細電火花超聲復合加工方法來加工深微孔。
　　本文首先總結了倒置式微細電火花加工原理、特征和意義，然后主要從機械系統(tǒng)、伺服控制系統(tǒng)和微能脈沖電源這三個最為關鍵的功能模塊入手，研制了一臺倒置式微細電火花超聲復合加工裝置。對于機械系統(tǒng)，完成通用功能部件、倒置式專用功能部件設

3、計和裝置性能分析，并對倒置式裝置增加的技術難點，提出解決途徑；建立了基于“PC+PMAC運動控制卡”的主從式、上下位機高性能伺服控制系統(tǒng)，完成了硬件電路、伺服控制策略和軟件設計；運用MOSFET開關元件等完成了可控式RC微能脈沖電源的基礎性設計研究，為微細電火花加工提供微能能量。
　　經(jīng)加工實驗驗證，倒置式微細電火花加工方法和該倒置式微細電火花超聲復合加工裝置，能根本上解決深微孔微細電火花加工過程中電蝕產(chǎn)物的積聚問題，提高了放電蝕