基于SU-8工藝的微流體檢測通道結構的設計與實現(xiàn).pdf

1、微流控芯片作為微全分析系統(tǒng)（μTAS）的一個重要研究分支，憑借其高度集成化、便攜化、低成本等優(yōu)點，融合了眾多學科的研究成果，受到了廣泛的關注。它的加工采用了目前比較成熟的微機電系統(tǒng)（MEMS）技術，將微驅動控制裝置、微流通道、儲液池、廢液池、檢測系統(tǒng)以及各種功能器件全部集成到一個芯片上，從而完成整個的生物分析過程，促進醫(yī)學和生物學向新的方向發(fā)展。
　　微流式細胞儀（Micro-cytometer）目前在微流控發(fā)展中占據(jù)舉足輕重的作

2、用，它可以克服傳統(tǒng)流式細胞儀體積大、高成本、樣品需求量大等很多缺點，使得流式細胞儀在血液檢測、分析等方面的優(yōu)點能夠在航空、航天、軍用以及民用等方面得到更好的發(fā)揮。目前微流式細胞儀發(fā)展中遇到的一個問題便是微流通道的研究、制作，由于微流控的尺度問題，導致諸如毛細效應、擴散效應等問題，同時由于MEMS加工技術的限制，對于微流通道的設計、加工的研究也比較單一，對于微流體聚焦通道的設計、制作都是基于流體的一維方向。
　　本文首先對于微流尺度

3、下流體的流動機理、流體動力學方程進行了研究，結合本論文中所要設計的微流體通道，等效出來了泊肅葉模型并進行了流體方程分析。然后根據(jù)微流體檢測通道的應用，設計了微流體通道結構及參數(shù)，結合Fluent進行了仿真分析和驗證。
　　通過與微流體通道加工中常用的材料性能對比，本文中設計、制作的微流體檢測通道最后使用到材料有SU-8光刻膠和聚二甲基硅氧烷（PDMS）。使用SU-8光刻作為微流體檢測通道陽模結構，并且采用了斜曝光原理，制作了用于三