超聲處理對(duì)SU-8膠與金屬基底粘附性的影響.pdf

1、SU-8光刻膠是一種負(fù)性光刻膠，在紫外光下有很好的光刻特性。近年來，SU-8光刻膠在制作高深寬比的微結(jié)構(gòu)和微器件方面取得了不少成果，引起了廣泛關(guān)注。然而，SU-8膠與金屬基底的粘附性低會(huì)導(dǎo)致膠體與基體間的結(jié)合失敗，進(jìn)而使膠體從金屬基底上脫落，制約了SU-8膠圖形分辨率和深寬比的提高。但是，目前對(duì)于如何提高SU-8膠粘附性的研究多集中在改善工藝參數(shù)、優(yōu)化掩膜版設(shè)計(jì)和化學(xué)改性上。
　　本文旨在通過超聲處理技術(shù)提高SU-8膠與金屬基底的

2、粘附性，分析了超聲輸入功率對(duì)SU-8膠與金屬基底粘附性的影響。提出了一種通過超聲處理提高SU-8膠與金屬基底粘附性的方法，這種方法的優(yōu)點(diǎn)是有效地避免了先前過多依賴實(shí)驗(yàn)提高膠層與金屬基底的粘附性的方法，大大地節(jié)省了實(shí)驗(yàn)成本和時(shí)間。
　　本文從超聲處理減小SU-8膠層內(nèi)應(yīng)力的角度，分析了超聲處理提高SU-8膠與金屬基底粘附性的機(jī)理，認(rèn)為膠層內(nèi)應(yīng)力是影響膠層與金屬基底粘附性的主要因素。通過超聲處理可以有效的消除交聯(lián)網(wǎng)的缺陷，降低膠層內(nèi)應(yīng)