新型智能微位移主動(dòng)隔振控制系統(tǒng)的研發(fā).pdf

1、微位移主動(dòng)隔振控制系統(tǒng)在精密儀器、微納米設(shè)備的微位移主動(dòng)隔振中有著廣闊的應(yīng)用前景。
　　本文在NI PXI數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)和BK激振器的基礎(chǔ)上，設(shè)計(jì)了一種由作動(dòng)器、傳感器和控制器組成的新型智能微位移主動(dòng)隔振系統(tǒng)，搭建了相應(yīng)的實(shí)驗(yàn)平臺(tái)，提出將有源噪聲控制的相關(guān)原理應(yīng)用到智能微位移主動(dòng)隔振控制中，開發(fā)了在LabVIEW軟件環(huán)境下整個(gè)系統(tǒng)的數(shù)據(jù)采集和F-XLMS控制算法的程序，分別在正弦、掃頻和隨機(jī)激勵(lì)信號(hào)下進(jìn)行了微位移主動(dòng)隔振仿真和實(shí)驗(yàn)研

2、究，主要?jiǎng)?chuàng)新點(diǎn)如下:
　　1)提出了一種由作動(dòng)器、傳感器和控制器組成的新型智能微位移主動(dòng)隔振控制系統(tǒng)，該系統(tǒng)是一個(gè)完全的閉環(huán)系統(tǒng)，具有較高的控制精度、響應(yīng)速度和穩(wěn)定性;
　　2)建立了層疊式壓電作動(dòng)器的理論模型，以壓電方程為基礎(chǔ)推導(dǎo)出作動(dòng)器厚度變形量表達(dá)式，獲得了作動(dòng)器控制電壓計(jì)算公式;
　　3)探索了適用于微位移主動(dòng)隔振的控制理論與算法，將有源噪聲控制技術(shù)的F-XLMS算法應(yīng)用到主動(dòng)隔振控制中，使用LabVIEW軟件

3、開發(fā)了整個(gè)系統(tǒng)的數(shù)據(jù)采集和F-XLMS算法控制程序，為微位移主動(dòng)隔振系統(tǒng)提供了軟件支撐;
　　4)搭建了微位移主動(dòng)隔振控制系統(tǒng)的硬件實(shí)驗(yàn)平臺(tái)，BK激振器為該實(shí)驗(yàn)平臺(tái)提供初級(jí)振動(dòng)激勵(lì)信號(hào)，NI PXI數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)采集初級(jí)振動(dòng)信號(hào)和受控后誤差信號(hào)，并輸出控制電壓，為微位移主動(dòng)隔振系統(tǒng)提供硬件支撐;
　　5)進(jìn)行了微位移主動(dòng)隔振的Matlab/Simulink理論模型仿真和實(shí)驗(yàn)驗(yàn)證研究，分別將正弦、掃頻、隨機(jī)三種典型振動(dòng)激勵(lì)信號(hào)作