飛秒激光加工的焦場縱橫比控制理論及實驗研究.pdf

1、飛秒激光微加工技術具有加工精度高、熱效應小、損傷閾值低及能夠?qū)崿F(xiàn)真正的三維微結構加工等傳統(tǒng)加工技術無法取代的優(yōu)點，目前，已廣泛應用于各個領域的微納加工。由于飛秒激光直接聚焦的焦場能量分布較為單一，無法適應多變的實際加工需求，限制了飛秒激光加工的加工能力和加工效率。本文主要圍繞飛秒激光加工中的焦場縱橫比控制方法展開研究，理論計算了各種焦場控制縱橫比控制方法的主要參數(shù)，通過實驗驗證了理論結果的可行性和適用性，分別結合狹縫和光闌的焦場控制方法

2、加工了大深徑比金屬微孔和圓形截面波導，論文全文的主要研究內(nèi)容如下:
　　1.分析了飛秒激光聚焦焦場的能量分布，提出了以縱橫比衡量加工截面的方法，并研究了焦場能量分布與加工縱橫比之間的相互關系。
　　2.分析了四種焦場縱橫比控制方法的主要參數(shù)對加工結果的影響，進一步建立的兩者之間的數(shù)值關系模型，并通過實驗對理論計算進行了驗證。
　　3.開展了金屬深孔加工的實驗研究，分析了大深徑比金屬微孔加工中的限制因素，提出了插入光闌改