飛秒激光加工的焦場(chǎng)縱橫比控制理論及實(shí)驗(yàn)研究.pdf

1、飛秒激光微加工技術(shù)具有加工精度高、熱效應(yīng)小、損傷閾值低及能夠?qū)崿F(xiàn)真正的三維微結(jié)構(gòu)加工等傳統(tǒng)加工技術(shù)無(wú)法取代的優(yōu)點(diǎn)，目前，已廣泛應(yīng)用于各個(gè)領(lǐng)域的微納加工。由于飛秒激光直接聚焦的焦場(chǎng)能量分布較為單一，無(wú)法適應(yīng)多變的實(shí)際加工需求，限制了飛秒激光加工的加工能力和加工效率。本文主要圍繞飛秒激光加工中的焦場(chǎng)縱橫比控制方法展開(kāi)研究，理論計(jì)算了各種焦場(chǎng)控制縱橫比控制方法的主要參數(shù)，通過(guò)實(shí)驗(yàn)驗(yàn)證了理論結(jié)果的可行性和適用性，分別結(jié)合狹縫和光闌的焦場(chǎng)控制方法

2、加工了大深徑比金屬微孔和圓形截面波導(dǎo)，論文全文的主要研究?jī)?nèi)容如下:
　　1.分析了飛秒激光聚焦焦場(chǎng)的能量分布，提出了以縱橫比衡量加工截面的方法，并研究了焦場(chǎng)能量分布與加工縱橫比之間的相互關(guān)系。
　　2.分析了四種焦場(chǎng)縱橫比控制方法的主要參數(shù)對(duì)加工結(jié)果的影響，進(jìn)一步建立的兩者之間的數(shù)值關(guān)系模型，并通過(guò)實(shí)驗(yàn)對(duì)理論計(jì)算進(jìn)行了驗(yàn)證。
　　3.開(kāi)展了金屬深孔加工的實(shí)驗(yàn)研究，分析了大深徑比金屬微孔加工中的限制因素，提出了插入光闌改