SEM下納米操作分子動(dòng)力學(xué)仿真及探針閉環(huán)控制方法研究.pdf

1、納米操作是納米技術(shù)的重要研究?jī)?nèi)容，是微/納制造科學(xué)與技術(shù)研究的重要內(nèi)容之一，是國(guó)際機(jī)器人學(xué)和納米科技領(lǐng)域受到廣泛關(guān)注的熱點(diǎn)研究領(lǐng)域。納米操作系統(tǒng)在微/納米尺度材料研究和器件制造過(guò)程中發(fā)揮著日益重要的作用。高效、可靠、穩(wěn)定的納米操作系統(tǒng)在光電、信息存儲(chǔ)、生物醫(yī)療等領(lǐng)域具有廣闊的應(yīng)用前景。本文針對(duì)SEM下的納米線(xiàn)平移操作過(guò)程進(jìn)行研究。為了穩(wěn)定可靠的控制納米線(xiàn)的平移過(guò)程，對(duì)納米構(gòu)件間的交互作用力進(jìn)行了建模分析；為了提高探針的定位精度，引入了B

2、P神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)PID控制算法對(duì)探針進(jìn)行閉環(huán)控制。
　　在對(duì)微納米操作理論分析的基礎(chǔ)上，建立了納米操作過(guò)程中的納米構(gòu)件間的相互作用力模型。對(duì)納米線(xiàn)平移操作過(guò)程中可能出現(xiàn)的旋轉(zhuǎn)和彎曲現(xiàn)象進(jìn)行了理論分析，并提出了采用Z型操作策略平移納米線(xiàn)。
　　采用 LAMMPS分子動(dòng)力學(xué)仿真軟件，建立了納米線(xiàn)平移操作過(guò)程的分子動(dòng)力學(xué)模型。并將得出的數(shù)據(jù)導(dǎo)入 VMD可視化軟件中，對(duì)納米線(xiàn)平移操作過(guò)程中的納米線(xiàn)運(yùn)動(dòng)軌跡以及其微觀(guān)物理現(xiàn)象進(jìn)行了直觀(guān)的觀(guān)測(cè)