在線電解修整磨削分子動(dòng)力學(xué)仿真研究.pdf

1、EIID(Electrolytic In-process Dressing)磨削技術(shù)是在電化學(xué)加工及電解磨削的原理基礎(chǔ)上發(fā)展起來的一項(xiàng)磨削新技術(shù).該技術(shù)將砂輪修整與磨削過程結(jié)合在一起,在金屬基砂輪微量磨削作用進(jìn)行磨削加工的同時(shí),利用非線性電解作用對(duì)砂輪進(jìn)行修整,從而避免砂輪的鈍化和堵塞現(xiàn)象,能夠高效地實(shí)現(xiàn)諸多難加工硬脆材料的超精密鏡面磨削.然而,由于對(duì)其機(jī)理認(rèn)識(shí)不全面,限制了其加工精度的進(jìn)一步提高.分子動(dòng)力學(xué)仿真作為一種新型的計(jì)算機(jī)仿真

2、方法,可以對(duì)用傳統(tǒng)的理論分析和實(shí)驗(yàn)觀察上都難以了解的現(xiàn)象做出微觀解釋.因此,本文將分子動(dòng)力學(xué)仿真引進(jìn)引入ELID超精密磨削機(jī)理研究,對(duì)單晶硅的磨削過程進(jìn)行仿真實(shí)驗(yàn),以期對(duì)其加工機(jī)理進(jìn)行全面認(rèn)識(shí),并根據(jù)實(shí)驗(yàn)結(jié)果提出改善工藝的建議. 本文首先介紹了分子動(dòng)力學(xué)仿真的發(fā)展進(jìn)程和基本理論,重點(diǎn)涉及了其運(yùn)動(dòng)方程的建立,勢(shì)函數(shù)的選取以及仿真計(jì)算的過程.在此基礎(chǔ)上,建立了以單晶硅為工件材料的分子動(dòng)力學(xué)仿真三維模型,對(duì)不同深度下的加工過程進(jìn)行分析