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文檔簡介
1、該文主要對CMP加工過程進行了研究,并對其的加工應用做了實驗,實驗結果證明CMP技術是先進的,是功能陶瓷材料的首選拋光方法.化學機械平面拋光是利用固相反應拋光原理的加工方法之一.軟質磨料與適當?shù)膾伖庖阂黄?在工件與磨粒接觸點上,由于摩擦而產(chǎn)生高溫高壓,在極短的接觸時間里產(chǎn)生固相反應,并由摩擦力除去反應物,實現(xiàn)納米級微小單位的去除拋光.盡管工件整個去除現(xiàn)象的主要因素是化學和機械作用,但對各自的作用過程和相互作用程度仍缺乏系統(tǒng)的研究.該文主
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