鐵電ZnO薄膜晶體管的制備及其性能研究.pdf_第1頁
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1、學校代號10530學號200910061140分類號TN304.055密級碩士學位論文鐵電鐵電ZnO薄膜晶體管的薄膜晶體管的制備及制備及其性能研究其性能研究學位申請人譚秋紅指導教師王金斌教授學院名稱材料與光電物理學院學科專業(yè)微電子學與固體電子學研究方向半導體物理與半導體器件物理二〇一二年五月二十日湘潭大學湘潭大學學位論文原創(chuàng)性聲明學位論文原創(chuàng)性聲明本人鄭重聲明：所呈交的論文是本人在導師的指導下獨立進行研究所取得的研究成果。除了文中特別加

2、以標注引用的內容外，本論文不包含任何其他個人或集體已經發(fā)表或撰寫的成果作品。對本文的研究做出重要貢獻的個人和集體，均已在文中以明確方式標明。本人完全意識到本聲明的法律后果由本人承擔。作者簽名：日期：年月日學位論文版權使用授權書學位論文版權使用授權書本學位論文作者完全了解學校有關保留、使用學位論文的規(guī)定，同意學校保留并向國家有關部門或機構送交論文的復印件和電子版，允許論文被查閱和借閱。本人授權湘潭大學可以將本學位論文的全部或部分內容編入有

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