MFIS結(jié)構(gòu)中鐵電疇變的實(shí)驗(yàn)研究.pdf

1、金屬/鐵電薄膜/絕緣層/硅(MFIS)結(jié)構(gòu)鐵電場(chǎng)效應(yīng)晶體管(FeFET)由于具有非揮發(fā)信息存儲(chǔ)、高讀寫速度、高存儲(chǔ)密度、強(qiáng)抗輻射能力和非破壞性讀出等優(yōu)點(diǎn),引起了人們極大的關(guān)注。SrBi2Ta2O9(SBT)薄膜為具有抗疲勞性能好、漏電流低等優(yōu)異特點(diǎn)的重要無(wú)鉛鐵電材料,HfO2薄膜為較高介電常數(shù)的絕緣層材料,并且SBT和HfO2的多層膜結(jié)構(gòu)具有好的熱穩(wěn)定性,能夠與大規(guī)模集成電路制備工藝兼容,于是Pt/SBT/HfO2/Si成為了應(yīng)用于Fe

2、FET的重要MFIS結(jié)構(gòu)。鐵電疇變是指鐵電疇在電場(chǎng)、力場(chǎng)或者力電耦合場(chǎng)作用下發(fā)生的翻轉(zhuǎn),它是鐵電材料中各種物理過(guò)程和現(xiàn)象的基礎(chǔ)，直接決定著鐵電器件的性能。其中，在退極化場(chǎng)等作用下發(fā)生的背翻轉(zhuǎn)現(xiàn)象會(huì)導(dǎo)致鐵電材料和器件性能衰退。所以,對(duì)鐵電材料和鐵電器件中鐵電疇變的研究將有著非常重要的意義。本論文首先采用脈沖激光沉積(PLD)方法制備了Pt/SBT/HfO2/Si結(jié)構(gòu),然后利用壓電響應(yīng)力顯微鏡(PFM)觀測(cè)了其電疇結(jié)構(gòu)及其在外加電場(chǎng)下的翻轉(zhuǎn)

3、行為,并研究了SBT/HfO2/Si結(jié)構(gòu)在撤掉寫入電場(chǎng)后鐵電疇的演化,最后討論了其演化機(jī)制。具體工作和結(jié)果概括如下:
　　1.Pt/SBT/HfO2/Si結(jié)構(gòu)的制備及性能表征
　　采用PLD先后制備了SBT薄膜、HfO2薄膜和Pt/SBT/HfO2/Si結(jié)構(gòu),對(duì)所制備的樣品的微觀結(jié)構(gòu)及電學(xué)性能進(jìn)行了表征,并研究了掃描電壓、HfO2薄膜厚度對(duì)Pt/SBT/HfO2/Si結(jié)構(gòu)存儲(chǔ)窗口的影響。結(jié)果表明:(1)SBT薄膜為隨機(jī)取向的

4、多晶結(jié)構(gòu),具有良好的鐵電性能;(2)HfO2薄膜具有較高的介電常數(shù)和低的漏電流,與基底之間的界面比較清晰、平整;(3)Pt/SBT/HfO2/Si結(jié)構(gòu)的存儲(chǔ)窗口隨掃描電壓的增大先增大后下降,隨HfO2薄膜厚度的增大而減小,Pt/SBT/HfO2/Si結(jié)構(gòu)在掃描電壓為6 V、HfO2薄膜厚度為6 nm時(shí)具有好的性能指標(biāo),積累態(tài)電容在8小時(shí)后僅降低了5％,存儲(chǔ)窗口在1010次翻轉(zhuǎn)后也只下降了18%。
　　2.SBT/HfO2/Si結(jié)構(gòu)

5、中電疇結(jié)構(gòu)及外電場(chǎng)下電疇翻轉(zhuǎn)的觀測(cè)
　　利用PFM對(duì)SBT薄膜和SBT/HfO2/Si結(jié)構(gòu)中的鐵電疇結(jié)構(gòu)進(jìn)行了觀測(cè),并研究了其在外電場(chǎng)作用下的翻轉(zhuǎn)行為。結(jié)果表明:(1)SBT薄膜和SBT/HfO2/Si結(jié)構(gòu)均具有清晰的原始電疇結(jié)構(gòu);(2)在外電場(chǎng)作用下,SBT薄膜和SBT/HfO2/Si結(jié)構(gòu)中原始電疇發(fā)生了較完全的翻轉(zhuǎn),電疇的翻轉(zhuǎn)行為主要受到外電場(chǎng)和內(nèi)建電場(chǎng)的共同作用;(3)SBT薄膜和SBT/HfO2/Si結(jié)構(gòu)中微區(qū)的相位滯后回

6、線表明電疇在周期外電場(chǎng)作用下發(fā)生180°的翻轉(zhuǎn)。
　　3.SBT/HfO2/Si結(jié)構(gòu)保持性能損失過(guò)程中電疇演化的觀測(cè)
　　利用PFM觀測(cè)了SBT/HfO2/Si結(jié)構(gòu)撤掉寫入電場(chǎng)后77 h內(nèi)電疇的演化,并討論了其演化機(jī)制。結(jié)果表明:(1)撤掉寫入電場(chǎng)后,SBT/HfO2/Si結(jié)構(gòu)中電疇發(fā)生了背翻轉(zhuǎn)現(xiàn)象;(2)背翻轉(zhuǎn)過(guò)程分為兩個(gè)階段：撤掉寫入電場(chǎng)后的短時(shí)間內(nèi)電疇發(fā)生快速的背翻轉(zhuǎn),接下來(lái)較長(zhǎng)的時(shí)間內(nèi)電疇背翻速度非常緩慢;這主要是隨