采用工業(yè)以太網(wǎng)的多晶硅生產線監(jiān)控系統(tǒng)研究.pdf

1、多晶硅生產是將化工工業(yè)與機電一體化結合為一體的技術含量較高的化工生產技術。在實際生產中，有一定的危險性，因此對生產的實時高效監(jiān)控是確保安全生產的首要任務。多晶硅生產線監(jiān)控系統(tǒng)是整條生產線的重要組成部分，該系統(tǒng)負責對整條生產線的運作和生產進行管理和監(jiān)控。
　　 論文介紹了多晶硅生產技術的發(fā)展和集散控制技術的現(xiàn)狀，闡述了集散控制多層控制結構，提出了將工業(yè)以太網(wǎng)應用于多晶硅生產線監(jiān)控系統(tǒng)的基本思想。詳述了多晶硅生產的核心設備鐘罩式熱分

2、解爐系統(tǒng)，并且分析其分解硅烷時的工況。通過實驗的方法，獲得一組效率較高、能耗較低的生產參數(shù)，用以體現(xiàn)硅烷法生產多晶硅的能耗優(yōu)越性。采用了基于工業(yè)以太網(wǎng)的集散控制系統(tǒng)設計方案，發(fā)揮了工業(yè)以太網(wǎng)的高兼容性和集散控制系統(tǒng)結構明確、實時性好的優(yōu)點。考慮最終用戶現(xiàn)場操作的方便性和人機界面的特點，結合集散控制系統(tǒng)的實際性能，采用中等規(guī)模的西門子S7-300系列可編程控制器，監(jiān)控軟件采用施耐德CitectSCADA。在具體的設計中先明確系統(tǒng)拓撲結構，

3、然后針對硬件電氣線路設計和軟件兩個方面論述了生產線監(jiān)控系統(tǒng)的實現(xiàn)方案，討論了數(shù)據(jù)傳輸方案與數(shù)據(jù)庫結構。
　　 在對生產工藝和系統(tǒng)結構分析的基礎上，論文將自整定PID控制應用于多晶硅生產溫度控制并進行了實驗，獲得了不同控制方法的實驗效果。針對多晶硅生產時對溫度的控制要求，比較并獲得實際控制效果較好的PID控制方案。在生產線試車后，通過實際生產控制效果，改進了設計的不足之處。
　　 本文特色在于將目前迅速發(fā)展工業(yè)以太網(wǎng)技術運