2023年全國碩士研究生考試考研英語一試題真題(含答案詳解+作文范文)_第1頁
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文檔簡介

1、  本文通過傳感器的結(jié)構(gòu)優(yōu)化設(shè)計、敏感材料和封裝材料的選擇以及工藝參數(shù)優(yōu)化,制作出新型的薄膜化的錳銅陣列式傳感器和鐿傳感器,經(jīng)過高壓測試,取得了比較理想的實驗結(jié)果,其主要結(jié)論和創(chuàng)新性結(jié)果歸納如下:  1、首次在99﹪氧化鋁陶瓷基片上制作出2×2陣列錳銅薄膜傳感器,4個傳感器在基片上呈對稱性分布,敏感薄膜放置在沖擊波的作用范圍內(nèi),經(jīng)過二級輕氣炮加載,壓力作用范圍在50~70GPa,4個傳感器輸出的一致性好,無高壓旁路效應(yīng)?! ?、首次

2、采用磁控濺射的方法制作出鐿薄膜傳感器,通過一級輕氣炮進(jìn)行加載實驗,測試壓力在1~3GPa,壓阻系數(shù)接近于箔式鐿傳感器,重復(fù)性較好,實現(xiàn)了傳感器的小型化和微型化?! ?、研究了熱處理對薄膜傳感器微觀形貌和壓阻特性的影響,研究結(jié)果表明,薄膜傳感器經(jīng)過熱處理后,薄膜晶粒增大,缺陷減少,大大提高了薄膜的壓阻靈敏度。經(jīng)過熱處理后的薄膜傳感器,其壓阻系數(shù)接近于文獻(xiàn)報道的箔式傳感器的壓阻系數(shù)?! ?、采用氧化鋁材料為基制作的“后置式”2×2陣列錳

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