箔式錳銅超高壓力傳感器的研究.pdf

1、錳銅壓力傳感器是一種特種的壓力傳感器，主要用于測(cè)量沖擊波產(chǎn)生的超高壓力，其量程上限可達(dá)100GPa，是現(xiàn)有壓力傳感器中測(cè)壓量程最高的。為滿足國(guó)防重點(diǎn)工程的特殊需要，須進(jìn)一步提高壓力傳感器的測(cè)試精度、拓寬測(cè)試壓力的范圍，并使其進(jìn)一步微小型化。本文通過(guò)傳感器的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)、絕緣材料的研究、以及采用新的傳感器制備工藝，研制出了一種新型的箔式錳銅壓力傳感器，這種高壓力傳感器的主要特點(diǎn)和本論文的創(chuàng)新性歸納如下： 首次采用無(wú)機(jī)材料作為箔式錳銅壓

2、力傳感器的絕緣層。在錳銅箔上采用薄膜工藝雙面沉積Al2O3薄膜。上述技術(shù)的主要優(yōu)點(diǎn)在于采用在高壓力絕緣性能好的三氧化二鋁作為絕緣封裝材料，而代替現(xiàn)有箔式錳銅計(jì)中所使用的粘膠劑及PTFE膜，從而在根本上消除了高壓旁路效應(yīng)，拓寬傳感器的測(cè)壓上限范圍。 提出并采用薄膜工藝實(shí)現(xiàn)箔式傳感器的內(nèi)引線，以消除傳統(tǒng)箔式錳銅傳感器中因焊接銅引線而引起的厚度不均勻現(xiàn)象，以確保后續(xù)的薄膜制備中的可靠性。 通過(guò)二級(jí)輕氣炮壓力測(cè)試數(shù)據(jù)表明，該傳感