2023年全國(guó)碩士研究生考試考研英語(yǔ)一試題真題（含答案詳解+作文范文）_第1頁(yè)
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1、相變隨機(jī)存儲(chǔ)器優(yōu)越的性能使得它被看作最有潛力替代 Flash成為下一代的新型非易失性存儲(chǔ)器。相變存儲(chǔ)器的工作原理是利用電脈沖的焦耳熱效應(yīng)使相變材料在低阻的晶態(tài)和高阻的非晶態(tài)之間轉(zhuǎn)換。相變過(guò)程中的熱效應(yīng)和晶化過(guò)程會(huì)引起應(yīng)力,這被認(rèn)為是影響相變存儲(chǔ)器可靠性的最主要原因。為了提高可靠性,研究相變存儲(chǔ)器的應(yīng)力十分必要。
　　本文首先利用有限元分析軟件 ANSYS分析了T型結(jié)構(gòu)相變存儲(chǔ)單元的結(jié)構(gòu)尺寸和材料參數(shù)對(duì)熱應(yīng)力的影響;熱應(yīng)力隨特征尺寸

2、的減小有增大趨勢(shì),隨相變層厚度減小而減小并有最小值,熱應(yīng)力隨結(jié)構(gòu)寬深比減小而減小。我們以特征尺寸45nm,32nm,22nm,16nm和10nm模擬了單元特征尺寸縮小對(duì)應(yīng)力的影響,并結(jié)合T型結(jié)構(gòu)相變層厚度縮小對(duì)應(yīng)力的影響,提出了優(yōu)化方案,T型結(jié)構(gòu)在減小特征尺寸的同時(shí),相變層厚度也應(yīng)減小達(dá)到應(yīng)力的最小值,同時(shí)加深T型結(jié)構(gòu)深度也可以控制熱應(yīng)力。
　　相變存儲(chǔ)器的應(yīng)力不僅包括我們模擬的熱應(yīng)力,還有結(jié)晶致應(yīng)力。針對(duì)相變存儲(chǔ)器應(yīng)力的實(shí)驗(yàn)研究

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