SrTiO-,3-厚膜傳感器的摻雜研究.pdf_第1頁(yè)
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文檔簡(jiǎn)介

1、本文對(duì)溶膠一凝膠法(簡(jiǎn)稱Sol-Gel法)的制備工藝進(jìn)行了系統(tǒng)研究，并成功獲得制備SrTi<,0.8>Mg<,0.2>O<,2.8>的工藝：運(yùn)用固相合成法制備了以SrTiO<,3>為基體，La、Mg、Al、Fe和Cr等多種元素復(fù)合摻雜的Sr<,1-x>La<,x>(Ti<,1-y> M<,y?)O<,z>多晶氧化物半導(dǎo)體，其中，M為替代Ti位的摻雜物，包括Mg、Al、Fe和Cr等多種元素；同時(shí)在粉體中加入玻璃相B(硼)。并測(cè)試了樣品在6

2、00℃～800℃內(nèi)不同氧分壓下的阻-溫特性和氧敏特性，對(duì)結(jié)果作了合理的解釋和分析。 利用掃描電鏡(SEM)和X光衍射(XRD)等現(xiàn)代分析手段對(duì)實(shí)驗(yàn)制備的氧敏材料進(jìn)行了表征。XRD實(shí)驗(yàn)顯示固相合成法和溶膠-凝膠法分別在1250℃和800℃得到了理想的鈣鈦礦結(jié)構(gòu)，SEM實(shí)驗(yàn)證明溶膠一凝膠法制得的粉體粒徑均勻，且尺寸比固相法制得的粉體小。 實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明：在SrTiP<.3>中鉻離子替代鈦位可使SrTiO<,3>實(shí)現(xiàn)P型摻雜；C

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