MTS-MTO生產模式下半導體制造過程動態(tài)調度方法.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、北京化工大學碩士研究生學位論文日期：二。一三年十一月二十九日學位論文數據集中圖分類號TP273學科分類號5108060論文編號l001020140803密級學位授予單位代碼100lO學位授予單位名稱北京化工大學作者姓名劉彥超學號2010000803獲學位專業(yè)名稱控制科學與工程獲學位專業(yè)代碼081l國家自然科學基金項復雜系統(tǒng)建模、調度與課題來源研究方向目優(yōu)化論文題目MTs／MTo生產模式下半導體制造過程動態(tài)調度方法加工周期，預測，mS／M

2、To生產模式，自適應神經模糊推理系統(tǒng)，關鍵詞設備負荷控制論文答辯日期20131126論文類型應用研究學位論文評閱及答辯委員會情況姓名職稱工作單位學科專長指導教師曹政才教授北京化工大學復雜系統(tǒng)建模優(yōu)化控制評閱人1王晶教授北京化工大學控制可續(xù)與工程評閱人2張金會副教授北京化工大學控制理論評閱人3評閱人4評閱人5撇員會捕王晶教授北京化工大學控制可續(xù)與工程答辯委員l楚紀正教授北京化工大學先進控制答辯委員2祝海江副教授北京化工大學模式識別與智能控

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