Ag-ITO-g多層薄膜的制備、微結構及光電性質表征.pdf

1、利用高反射、高電導的金屬Ag和透明導電ITO多層復合制備透反射式高電導Ag/ITO/Ag多層薄膜，將該多層薄膜用作透反射式液晶顯示器的下電極材料，可以提高透反射式液晶顯示器的性能，所以對Ag/ITO/Ag多層薄膜體系開展研究具有重要的理論意義和實用價值。
　　 本文制備了一系列透反射式高電導Ag/ITO/Ag多層復合薄膜，Ag/ITO/Ag多層復合薄膜由表層Ag膜、夾層ITO膜和底層Ag膜構成，重點研究了不同表層Ag膜厚度對多層

2、薄膜的微結構、表面形貌和光電特性的影響。采用效能因子和分光比對Ag/ITO/Ag多層復合薄膜綜合品質因素進行了評價。
　　 本文主要創(chuàng)新點：
　　 1．利用兩層Ag膜和一層ITO膜的復合，制備出“三明治”結構的透反射式高電導Ag/ITO/Ag多層薄膜，這種膜系結構可以提高多層薄膜的電導率和反射率，形成光電性能優(yōu)異的Ag/ITO/Ag多層薄膜。將多層薄膜用于透反射式LCD的下電極材料，改善透反射式LCD的性能。
　　

3、 2．采用磁控濺射技術制備了Ag/ITO/Glass和ITO/Ag/Glass復合薄膜。將Ag/ITO/Glass與ITO/Ag/Glass復合薄膜微結構，光電特性進行了對比研究。
　　 本文主要研究內(nèi)容：
　　 1．采用直流磁控濺射技術制備了膜厚為9.3nm的底層Ag薄膜，采用X射線衍射儀，表面輪廓儀，紫外可見分光光度計和四探針測試儀對底層Ag膜的微結構，膜厚和光電特性進行了研究。
　　 2．采用直流和射頻磁

4、控濺射技術制備了Ag/ITO/Glass和ITO/Ag/Glass復合薄膜。利用X射線衍射儀分析了Ag/ITO/Glass和ITO/Ag/Glass復合薄膜的微結構，利用紫外-可見分光光度計和四探針測試儀表征了Ag/ITO/Glass和ITO/Ag/Glass復合薄膜的光電性能。
　　 3．本實驗制備了不同表層Ag膜厚度的Ag/ITO/Ag多層薄膜。X射線衍射分析表明，隨著表層Ag膜厚度的增大，Ag(111)衍射峰的增強，且Ag

5、/ITO/Ag多層薄膜中的Ag平均晶粒尺寸增大。
　　 4．紫外-可見分光光度計分析表明，隨著表層Ag膜厚度的增加，Ag/ITO/Ag多層薄膜在可見光范圍內(nèi)的平均透過率先增加后降低，Ag3/ITO/Ag樣品的透射率高達56.51％;Ag/ITO/Ag多層薄膜在可見光范圍內(nèi)的平均反射率增加。Ag/ITO/Ag多層薄膜的吸收先減小后增大。電學測試表明，隨著表層Ag膜厚度的增加，Ag/ITO/Ag多層薄膜的電阻率先減小后略有增加，尤其