基于神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)的壓電工作臺的建模與控制.pdf

1、近年來，隨著工業(yè)領(lǐng)域如微型機械制造、超精密測量、超精密加工、集成電路制造、生物工程、醫(yī)療科學等眾多領(lǐng)域的不斷發(fā)展，與之相關(guān)的設(shè)備對定位行程和定位精度的要求越來越高，因此微定位技術(shù)一直是精密工程領(lǐng)域的研究熱點之一。壓電元件驅(qū)動的微定位器是目前常見的微定位設(shè)備，而壓電工作臺則屬于其中一個典型的代表。
　　壓電工作臺利用壓電元件的壓電效應(yīng)或電致伸縮效應(yīng)來實現(xiàn)微米甚至是納米級的精準定位，大部分的壓電工作臺因其內(nèi)部采用壓電陶瓷疊堆和柔性鉸鏈

2、支承的組合一體式機械設(shè)計結(jié)構(gòu)，所以具備微位移分辨率高、穩(wěn)定性強、響應(yīng)快、剛度大、可微小化等優(yōu)點，而且由于它的硬件性，在閉環(huán)控制方面能夠很好的與各種傳感器、計算機、功率放大器等實現(xiàn)實物連接，再加上它的體積比其他的微位移定位器要小巧，所以在各個領(lǐng)域得到了很好的應(yīng)用。但是陶瓷材料的一些特性缺陷造成了壓電工作臺的各種遲滯、蠕變、非線性，這降低了工作臺的定位精度和動態(tài)響應(yīng)速度，造成了一定的位移誤差。為了獲得滿足要求的定位精度和動態(tài)響應(yīng)速度，需要研