基于神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)的壓電工作臺(tái)的建模與控制.pdf

1、近年來(lái)，隨著工業(yè)領(lǐng)域如微型機(jī)械制造、超精密測(cè)量、超精密加工、集成電路制造、生物工程、醫(yī)療科學(xué)等眾多領(lǐng)域的不斷發(fā)展，與之相關(guān)的設(shè)備對(duì)定位行程和定位精度的要求越來(lái)越高，因此微定位技術(shù)一直是精密工程領(lǐng)域的研究熱點(diǎn)之一。壓電元件驅(qū)動(dòng)的微定位器是目前常見(jiàn)的微定位設(shè)備，而壓電工作臺(tái)則屬于其中一個(gè)典型的代表。
　　壓電工作臺(tái)利用壓電元件的壓電效應(yīng)或電致伸縮效應(yīng)來(lái)實(shí)現(xiàn)微米甚至是納米級(jí)的精準(zhǔn)定位，大部分的壓電工作臺(tái)因其內(nèi)部采用壓電陶瓷疊堆和柔性鉸鏈

2、支承的組合一體式機(jī)械設(shè)計(jì)結(jié)構(gòu)，所以具備微位移分辨率高、穩(wěn)定性強(qiáng)、響應(yīng)快、剛度大、可微小化等優(yōu)點(diǎn)，而且由于它的硬件性，在閉環(huán)控制方面能夠很好的與各種傳感器、計(jì)算機(jī)、功率放大器等實(shí)現(xiàn)實(shí)物連接，再加上它的體積比其他的微位移定位器要小巧，所以在各個(gè)領(lǐng)域得到了很好的應(yīng)用。但是陶瓷材料的一些特性缺陷造成了壓電工作臺(tái)的各種遲滯、蠕變、非線性，這降低了工作臺(tái)的定位精度和動(dòng)態(tài)響應(yīng)速度，造成了一定的位移誤差。為了獲得滿足要求的定位精度和動(dòng)態(tài)響應(yīng)速度，需要研