并聯(lián)接觸式射頻MEMS開(kāi)關(guān)的研究.pdf

1、射頻微電子系統(tǒng)(RFMEMS)器件以其優(yōu)良的微波性能及多功能、低功耗、線性度好和低成本等優(yōu)點(diǎn)正成為近年來(lái)無(wú)線移動(dòng)通信領(lǐng)域的研究熱點(diǎn)。RFMEMS開(kāi)關(guān)由于具有其獨(dú)特的優(yōu)點(diǎn)，如低插入損耗、高隔離度、高線性度和低功耗等，更是在通信領(lǐng)域得到越來(lái)越多的研究與重視。目前，國(guó)際上各科研機(jī)構(gòu)和公司也對(duì)開(kāi)關(guān)作了深入的研究。本論文著重研究應(yīng)用頻段低于10GHz的并聯(lián)接觸式RFMEMS開(kāi)關(guān)，對(duì)開(kāi)關(guān)的理論模型、開(kāi)關(guān)的設(shè)計(jì)和制作等進(jìn)行了分析與實(shí)驗(yàn)研究。在模擬分析

2、的基礎(chǔ)上，設(shè)計(jì)了變寬度的橋結(jié)構(gòu)，在保證隔離度的情況下獲得了較好的插入損耗，這是本論文的一大創(chuàng)新之處。利用高頻分析軟件分析MEMS開(kāi)關(guān)的等效電路、電磁模型，提出了關(guān)于MEMS開(kāi)關(guān)的等效電路參數(shù)的提取方法，較全面地分析了開(kāi)關(guān)的結(jié)構(gòu)及工作原理，這些都對(duì)開(kāi)關(guān)的設(shè)計(jì)有一定的指導(dǎo)意義。MEMS開(kāi)關(guān)的等效電路參數(shù)的提取也是本論文研究工作的一大特色。在單片微波集成電路制作工藝的基礎(chǔ)上，結(jié)合本實(shí)驗(yàn)室的工藝條件，在多次流片的基礎(chǔ)上，對(duì)制備工藝中的一些關(guān)鍵步