扭臂式MEMS光開關(guān)的建模與優(yōu)化.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、傳統(tǒng)的機械光開關(guān)速度慢、體積大、不易大規(guī)模集成，難以適應(yīng)光傳送網(wǎng)的傳輸要求，這限制了其在未來光通信領(lǐng)域的應(yīng)用。新型的以微電子機械系統(tǒng)(MEMS)為基礎(chǔ)的微機械光開關(guān)成為大容量交換光網(wǎng)絡(luò)開關(guān)發(fā)展的主流方向。
　　 本文介紹了關(guān)開關(guān)的工作原理，分析了靜電驅(qū)動扭臂式MEMS光開關(guān)的運動過程，運用拉格朗日運動方程建立了其數(shù)學(xué)模型，并運用解析分析法和有限元分析法兩種分析方法對扭臂式光開關(guān)進行了模態(tài)分析，驗證了數(shù)學(xué)模型的正確性。在此基礎(chǔ)上，

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