2023年全國(guó)碩士研究生考試考研英語(yǔ)一試題真題（含答案詳解+作文范文）_第1頁(yè)
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1、　　本文以串/并聯(lián)接觸式RFMEMS開(kāi)關(guān)為重點(diǎn)進(jìn)行了研究，提出了版圖設(shè)計(jì)工具與有限元仿真工具相結(jié)合的方法，使用有限元軟件ANSYS對(duì)四類典型的MEMS開(kāi)關(guān)(串聯(lián)橋式、并聯(lián)橋式、串聯(lián)懸臂梁式、并聯(lián)懸臂梁式)進(jìn)行力學(xué)性能的對(duì)比分析。模擬了不同橋長(zhǎng)的諧振頻率以及三種不同橋墩形狀的橋式開(kāi)關(guān)的下拉情況，找出彈性系數(shù)最小的開(kāi)關(guān)。使用高頻電磁場(chǎng)分析軟件HFSS對(duì)四類開(kāi)關(guān)進(jìn)行1-10GHz的微波性能的對(duì)比分析，設(shè)計(jì)了用表面微機(jī)械加工技術(shù)來(lái)制作開(kāi)關(guān)的詳細(xì)

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