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文檔簡介
1、該文提出了基于動態(tài)聚焦誤差檢測和靜態(tài)聚焦誤差檢測相結合的光電測微系統(tǒng).該文通過對激光波長、數(shù)值孔徑、聚焦誤差檢測方法、輸出特性等參數(shù)的比較后,選用KSS-213C激光頭作為光電測微系統(tǒng)的信號采集器件.在推導音圈電機數(shù)學模型的基礎上,通過實測音圈電機的幅頻和相頻響應特性,系統(tǒng)辨識出音圈電機實際數(shù)學模型的參數(shù).詳細介紹了音圈電機的伺服控制系統(tǒng)并用Matlab軟件進行了仿真.設計了DSP系統(tǒng)并實現(xiàn)了數(shù)字濾波和音圈電機的PID控制.該文試制了一
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