硅片涂膠及軟烘自動設(shè)備的研究.pdf

1、在實(shí)驗(yàn)室中，硅片進(jìn)行涂膠及軟操作若依靠手工進(jìn)行夾持和傳遞，會造成工藝參數(shù)不穩(wěn)定，成品率不高的情況，且操作者也會受到一定傷害。因此，實(shí)現(xiàn)硅片處理的自動化操作是解決以上問題的最佳途徑。 本文主要提出并論證了一套簡單、可靠、經(jīng)濟(jì)的硅片涂膠及軟烘自動設(shè)備的設(shè)計(jì)方案。該設(shè)備不僅可以實(shí)現(xiàn)涂膠及軟烘操作工藝參數(shù)的監(jiān)控，還可以保證硅片在各工藝設(shè)備之間平穩(wěn)、精確、清潔的傳輸。硅片傳輸機(jī)械手是整個(gè)設(shè)備系統(tǒng)中最關(guān)鍵的部分，通過運(yùn)動學(xué)與動力學(xué)的數(shù)學(xué)建模

2、對硅片傳輸機(jī)械手的運(yùn)動規(guī)律與作用力的情況進(jìn)行分析，這是對結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)優(yōu)化的重要理論依據(jù)。此外，選擇圓柱坐標(biāo)及兩自由度的構(gòu)型特點(diǎn)決定了設(shè)備運(yùn)行主要性能。根據(jù)硅片材質(zhì)與工藝特點(diǎn)，文中提出一種有別于常規(guī)的邊緣式硅片夾持方法，采用了特殊的手部結(jié)構(gòu)確保硅片始終保持平穩(wěn)、清潔、精確的傳輸運(yùn)動。出于超凈環(huán)境考慮，機(jī)身結(jié)構(gòu)是由回轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)與升降機(jī)構(gòu)緊湊的組成，這兩個(gè)機(jī)構(gòu)分別由步進(jìn)電機(jī)直接驅(qū)動及滾珠絲杠傳動形式實(shí)現(xiàn)水平回轉(zhuǎn)與垂直升降的精確地同時(shí)運(yùn)動。從可靠性角度