軌道式涂膠顯影設(shè)備工藝原理及控制系統(tǒng)設(shè)計研究.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、隨著國內(nèi)集成電路產(chǎn)業(yè)的不斷快速發(fā)展,國內(nèi)傳統(tǒng)的二線芯片廠家及一些軍工研究所也不斷發(fā)展新工藝,擴(kuò)大產(chǎn)能,帶來了比較大的設(shè)備需求,而在涂膠顯影設(shè)備方面可供選擇有限,一方面國外如SUSS等的設(shè)備價格昂貴,售后服務(wù)難到位,而進(jìn)口二手設(shè)備的工藝性、可靠性存在問題,電控系統(tǒng)陳舊,控制軟件操作不夠靈活。
　　 本文通過對國際、國內(nèi)現(xiàn)行的半導(dǎo)體涂膠、顯影工藝過程的研究,設(shè)計了一套適合二線市場工藝使用的全自動涂膠、顯影設(shè)備控制系統(tǒng),該系統(tǒng)采用集散

2、控制系統(tǒng)思想,運用32位的ARM7芯片作為控制系統(tǒng)的管理核心,8位51芯片作為各模塊單元的控制芯片；通過功能強大的CAN總線實現(xiàn)對各分散單元進(jìn)行數(shù)據(jù)交換和控制；采用了方便的圖形人機交互模式,通過觸摸屏可以方便地實時觀測設(shè)備的運行狀態(tài)和管理設(shè)備的運行參數(shù)。該設(shè)備實現(xiàn)了對50種工藝配方的管理和5000片加工產(chǎn)品的信息保存,并提供實時查閱的操作。通過調(diào)試驗證該系統(tǒng)運行穩(wěn)定,滿足工藝指標(biāo)及設(shè)備功能要求。
　　 半導(dǎo)體工藝復(fù)雜多樣,這就要

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