納米通道雙原子分子數(shù)值模擬.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、微電子機(jī)械系統(tǒng)(MEMS)的出現(xiàn)和發(fā)展是精密加工技術(shù)和納米技術(shù)交叉應(yīng)用領(lǐng)域的重要成果。由于MEMS器件的尺寸處于納米級別，因此尺度效應(yīng)對器件的影響成為制約其發(fā)展的一個重要問題。特別是由于許多MEMS器件中直接或者間接應(yīng)用流動原理，因此研究納米尺度下流體流動特性成為一個重要的研究方向。由于尺度效應(yīng)的存在，使得基于分子模型的分子動力學(xué)方法在納米尺度流體流動問題的研究中倍受青睞。
　　本論文的主要內(nèi)容為利用分子動力學(xué)（Molecular

2、 dynamics, MD）模擬的方法來研究雙原子分子在納米通道內(nèi)的流動特性。所使用的流動模型為Couette流動模型。本論文研究了該模型下，雙原子分子流體在不同的浸潤系數(shù)、系統(tǒng)溫度下的數(shù)密度分布及速度滑移的特點(diǎn)。研究表明，數(shù)密度呈現(xiàn)震幅與壁面距離呈負(fù)相關(guān)的震蕩特性；與浸潤系數(shù)正相關(guān)，與溫度負(fù)相關(guān)；速度滑移與浸潤系數(shù)負(fù)相關(guān)，與溫度負(fù)相關(guān)；本論文模擬了不同的勢能放大系數(shù)和平移系數(shù)對納米通道流體分子的影響。研究表明，勢能函數(shù)的放大系數(shù)與流體

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