薄膜背散射積分測(cè)試儀的研究.pdf

1、高反鏡的背散射是形成激光陀螺腔內(nèi)背散射的主要原因,散射光降低了器件的精度和靈敏度,通常高反射鏡具有多層介質(zhì)反射膜,而每層介質(zhì)膜都會(huì)成為散射源.散射光的存在一方面給光學(xué)系統(tǒng)帶來(lái)了危害,另一方面它的分布特征為評(píng)介光學(xué)表面和光學(xué)系統(tǒng)提供了重要的信息.通過(guò)測(cè)量高反鏡的背散射,可以建立光散射分布特征與表面粗糙度的關(guān)系,從而評(píng)介薄膜的質(zhì)量,確定高反鏡的性能,同時(shí)可以指導(dǎo)薄膜的設(shè)計(jì)和制備.根據(jù)理論和大量實(shí)驗(yàn)發(fā)現(xiàn),在高反鏡背散射光方向附近,散射光強(qiáng)變化

2、緩慢,因此可以采用這一區(qū)域的小孔立體角內(nèi)散射光強(qiáng)度表征背散射光強(qiáng)度.根據(jù)這一發(fā)現(xiàn),結(jié)合全積分散射(TIS)理論在表面粗糙度測(cè)量方面的理論,提出了新的測(cè)量方法測(cè)量薄膜的背散射:立體角積分散射法.在這種思想的指導(dǎo)下,建立了一套二維掃描光散射分布的自動(dòng)測(cè)試系統(tǒng),測(cè)量高反射鏡的背散射,該系統(tǒng)包括光學(xué)機(jī)械部分,光電轉(zhuǎn)換和檢測(cè)部分,以及測(cè)量控制軟件等三部分.系統(tǒng)測(cè)量的是微弱的光學(xué)信號(hào),信號(hào)由高靈敏度低噪聲的光電倍增管轉(zhuǎn)換為電流信號(hào),然后利用高性能的