微加速度計(jì)的機(jī)電耦合特性及關(guān)鍵技術(shù)研究.pdf

1、西南交通大學(xué)博士學(xué)位論文微加速度計(jì)的機(jī)電耦合特性及關(guān)鍵技術(shù)研究姓名：周吳申請(qǐng)學(xué)位級(jí)別：博士專(zhuān)業(yè)：機(jī)械設(shè)計(jì)及理論指導(dǎo)教師：李柏林；蘇偉20100713第1I頁(yè)西南交通大學(xué)博士研究生學(xué)位論文機(jī)靈敏度與設(shè)計(jì)值十分接近，整個(gè)結(jié)構(gòu)僅經(jīng)歷兩次制版與加工就達(dá)到了預(yù)期設(shè)計(jì)指標(biāo)。這不僅說(shuō)明理論結(jié)果的正確性，還說(shuō)明了理論設(shè)計(jì)的有效性，降低了性能參數(shù)的工藝依賴(lài)性，提高了結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)效率。5運(yùn)用微工藝的深反應(yīng)離子刻蝕技術(shù)(DRIE，DeepReactionIonE

2、tching)與硅微鍵合技術(shù)制造出了加速度計(jì)的表芯結(jié)構(gòu)，并通過(guò)原理樣機(jī)的離心機(jī)測(cè)試驗(yàn)證了理論的正確性與有效性。本論文運(yùn)用宏模型原理分析MEMS平行板電容器的機(jī)電耦合特性，簡(jiǎn)化了復(fù)雜系統(tǒng)的分析過(guò)程，使理論推導(dǎo)過(guò)程更明確更直觀。提出了運(yùn)用機(jī)械場(chǎng)與靜電場(chǎng)的耦合效應(yīng)來(lái)開(kāi)辟M(fèi)EMS設(shè)計(jì)分析新方法，包括基于電路參數(shù)補(bǔ)償?shù)聂敯粜栽O(shè)計(jì)方法、基于系統(tǒng)測(cè)試的工藝誤差預(yù)測(cè)方法以及基于靜電剛度的微諧振器研制等。關(guān)鍵詞：微加速度計(jì)；機(jī)電耦合；宏模型；折疊梁；工藝