2023年全國碩士研究生考試考研英語一試題真題(含答案詳解+作文范文)_第1頁
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文檔簡介

1、西南交通大學(xué)博士學(xué)位論文微加速度計(jì)的機(jī)電耦合特性及關(guān)鍵技術(shù)研究姓名:周吳申請學(xué)位級(jí)別:博士專業(yè):機(jī)械設(shè)計(jì)及理論指導(dǎo)教師:李柏林;蘇偉20100713第1I頁西南交通大學(xué)博士研究生學(xué)位論文機(jī)靈敏度與設(shè)計(jì)值十分接近,整個(gè)結(jié)構(gòu)僅經(jīng)歷兩次制版與加工就達(dá)到了預(yù)期設(shè)計(jì)指標(biāo)。這不僅說明理論結(jié)果的正確性,還說明了理論設(shè)計(jì)的有效性,降低了性能參數(shù)的工藝依賴性,提高了結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)效率。5運(yùn)用微工藝的深反應(yīng)離子刻蝕技術(shù)(DRIE,DeepReactionIonE

2、tching)與硅微鍵合技術(shù)制造出了加速度計(jì)的表芯結(jié)構(gòu),并通過原理樣機(jī)的離心機(jī)測試驗(yàn)證了理論的正確性與有效性。本論文運(yùn)用宏模型原理分析MEMS平行板電容器的機(jī)電耦合特性,簡化了復(fù)雜系統(tǒng)的分析過程,使理論推導(dǎo)過程更明確更直觀。提出了運(yùn)用機(jī)械場與靜電場的耦合效應(yīng)來開辟M(fèi)EMS設(shè)計(jì)分析新方法,包括基于電路參數(shù)補(bǔ)償?shù)聂敯粜栽O(shè)計(jì)方法、基于系統(tǒng)測試的工藝誤差預(yù)測方法以及基于靜電剛度的微諧振器研制等。關(guān)鍵詞:微加速度計(jì);機(jī)電耦合;宏模型;折疊梁;工藝

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