水銀微電容式加速度計(jì)的特性及測(cè)試研究.pdf

1、隨著MEMS技術(shù)和集成電路的高速發(fā)展，微慣性傳感器的開(kāi)發(fā)與應(yīng)用得到了極大地促進(jìn)。目前在各個(gè)領(lǐng)域，微慣性傳感器正呈現(xiàn)出商業(yè)化、產(chǎn)業(yè)化的應(yīng)用前景。微慣性傳感器具有集成化、微型化、低成本、低功耗、穩(wěn)定性高等諸多優(yōu)點(diǎn)。但是，目前國(guó)內(nèi)外研制出來(lái)的微慣性傳感器彈性結(jié)構(gòu)大都采用固態(tài)結(jié)構(gòu)，存在著高靈敏度與抗高過(guò)載之間的矛盾，這在很大程度上限制了抗高過(guò)載加速度計(jì)的應(yīng)用。鑒于此，本文提出了一種水銀微電容加速度傳感器。并以美國(guó)Micro Sensor公司生產(chǎn)

2、的一款微小電容的測(cè)量芯片MS3110作為主要研究對(duì)象，通過(guò)它測(cè)量運(yùn)動(dòng)物體的加速度，進(jìn)而運(yùn)用一定的算法(卡爾曼濾波算法)濾除噪聲并估計(jì)出加速度準(zhǔn)確的值。其主要內(nèi)容有：
　　1.對(duì)MS3110的工作原理、一般特性進(jìn)行詳細(xì)地論述，對(duì)MS3110的應(yīng)用電路設(shè)計(jì)及校準(zhǔn)進(jìn)行探討，并詳細(xì)地闡述了本課題的實(shí)驗(yàn)系統(tǒng)，對(duì)MS3110的靜態(tài)特性和動(dòng)態(tài)特性進(jìn)行分析和研究；
　　2介紹了水銀微電容式加速度計(jì)的電路檢測(cè)和數(shù)據(jù)采集方案，對(duì)加速度傳感器進(jìn)行