微型零件在線檢測(cè)系統(tǒng)的研究.pdf

1、該論文所研究的課題來(lái)源于安徽省十五科技攻關(guān)重點(diǎn)項(xiàng)目〈特殊工況異形曲線在線檢測(cè)系統(tǒng)的研究〉.該課題的研究目標(biāo)是:設(shè)計(jì)并研制出一套顯微測(cè)量系統(tǒng),完成對(duì)微型零件的顯微放大及圖像的采集、處理和測(cè)量,并最終給出被測(cè)零件特征尺寸的測(cè)量結(jié)果,以及對(duì)測(cè)量結(jié)果的數(shù)據(jù)處理和精度分析.文中,作者首先在第一、第二章認(rèn)真分析了國(guó)內(nèi)外在顯微機(jī)器視覺(jué)方面的發(fā)展概況,研究了小尺寸測(cè)量的有關(guān)問(wèn)題,確定了對(duì)半導(dǎo)體芯片電路線寬進(jìn)行顯微測(cè)量的研究方案.接下來(lái),在第三、四兩章詳

2、細(xì)闡述了光學(xué)顯微系統(tǒng)和數(shù)字圖像的輸入、輸出等硬件部分的設(shè)計(jì).在進(jìn)一步的研究中,作者獨(dú)立完成了:(1)用Visual Basic語(yǔ)言進(jìn)行軟件編程和程序調(diào)試,實(shí)現(xiàn)了顯微圖像的處理、測(cè)量和識(shí)別(見(jiàn)第五章);(2)針對(duì)顯向測(cè)量這一類特殊的幾何量測(cè)量,作者給出了影響測(cè)量結(jié)果的誤差因素,并對(duì)測(cè)量結(jié)果進(jìn)行了細(xì)致的精度分析(見(jiàn)第六章);(3)對(duì)上述實(shí)際測(cè)量及精度分析部分進(jìn)行了獨(dú)立的實(shí)驗(yàn).實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明,該套顯微測(cè)量裝置具有很好的測(cè)量穩(wěn)定性,半導(dǎo)體芯片電路