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文檔簡介
1、該文提出一種基于尺蠖運動(Inchworm motion)原理的大范圍納米級驅動壓電馬達.馬達由兩個夾緊器和兩個驅動器組成,在一定的激勵信號下,通過夾緊器交替抱緊和放松傳動軸,驅動器推拉夾緊器,從而產生軸向大行程直線運動.論文系統(tǒng)地介紹了壓電理論及材料特性;對固有的誤差因素,如蠕變、非線性、遲滯等特性作了研究分析;著重闡述了壓電馬達的機械結構設計、控制系統(tǒng)的硬件和軟件設計、性能測試實驗等方面的內容.結構設計方面,變傳統(tǒng)單驅動器結構為雙驅
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