材料表面污染物檢測的實驗研究.pdf

1、真空系統(tǒng)中使用的各種材料，由于加工、清洗、裝配、運行過程中存在有機物殘留，使得材料表面有污染物質(zhì)。這些污染物質(zhì)在真空中會再次脫附釋放出來，釋放出來的污染物有些漂浮在真空系統(tǒng)中，導致系統(tǒng)潔凈度的下降;有些則沉積到系統(tǒng)內(nèi)壁或器件的表面，導致系統(tǒng)的污染和器件性能的下降。因此材料表面污染物的檢測具有重要意義。
　　本文首先介紹了材料表面污染物的常規(guī)檢測的方法，并進一步詳細介紹了目前比較常用的幾種常溫常壓污染物檢測方法的基本原理和應用，對比

2、了它們的優(yōu)點與不足;然后重點對大氣壓下進樣的熱解吸方法進行了系統(tǒng)的實驗研究，主要探究了影響熱解吸方法的兩個關(guān)鍵因素:載氣的出口溫度和進樣裝置的進樣效率。通過對載氣出口溫度的研究，發(fā)現(xiàn)了載氣出口溫度散失的主要途徑并采取了相應的保溫措施，目前載氣的出口溫度可以達到280℃左右。通過對進樣裝置進樣效率影響因素的研究，找到了目前進樣裝置的最佳進樣條件。
　　綜合考慮載氣的出口溫度和進樣裝置的進樣效率這兩個因素的影響，確定了目前實驗的最佳進