基于靈敏度解析函數的光刻機波像差檢測理論與方法研究.pdf

1、Zernike系數之間的線性解析聯系，從而推導得到適用于圓形照明光源的波像差靈敏度解析函數。波像差靈敏度矩陣分別由奇、偶像差靈敏度解析函數構成，可直接通過數值計算提前得到（無需使用PROLITH軟件仿真獲取），分別用于檢測奇、偶像差Zernike系數；
　　改進了適用于圓形照明光源的波像差在線檢測方法，提出一種適用于任意照明光源的波像差在線檢測新理論與新方法，首次提出波像差廣義靈敏度函數的概念，用于解析表征任意光源照明條件下的奇像

2、差和偶像差靈敏度，從而實現37級Zernike系數的快速、精確檢測。廣義靈敏度函數由Zernike級次、光瞳采樣點位置及光源照明設置決定，是波像差檢測方法的核心。對于一組待測Zernike系數，廣義靈敏度函數也可定義為靈敏度核函數，構成用于波像差檢測的靈敏度核函數空間。靈敏度核函數成為了聯系觀測信號與波像差Zernike系數線性映射關系的橋梁，波像差檢測方法的實質是將觀測信號在靈敏度核函數空間進行分解。
　　通過輸入的4種主流離軸

3、照明光源，利用PROLITH軟件開展了任意光源照明設置下的波像差在線檢測仿真實驗及檢測誤差分析。通過分析大量仿真檢測結果，發(fā)現提出的檢測理論與方法精確可靠，波像差37級Zernike系數的檢測絕對誤差在0.1mλ數量級，波像差光瞳面的反演精度高達mλ量級。另外，由于采用制作最為簡易的二元光柵結構作為掩模標記配合透射像傳感器實現波像差在線檢測，因此本論文提出方法具備簡便易行、低成本、高效率等諸多優(yōu)點，為光刻機投影物鏡系統(tǒng)在線監(jiān)測與優(yōu)化控制