基于子孔徑拼接原理檢測(cè)大口徑光學(xué)元件技術(shù)的研究.pdf_第1頁(yè)
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1、子孔徑拼接是利用小口徑干涉儀實(shí)現(xiàn)大口徑光學(xué)元件低成本、高分辨率檢測(cè)的一種有效方法。本文首先對(duì)子孔徑拼接檢測(cè)原理進(jìn)行了詳細(xì)地研究,并重點(diǎn)介紹了拼接模式的選取及子孔徑數(shù)目的確定。其次,在對(duì)“局部均化誤差”算法進(jìn)行了改進(jìn)的基礎(chǔ)上,利用MATLAB軟件編寫(xiě)了拼接算法程序,并利用仿真實(shí)驗(yàn)驗(yàn)證了拼接程序的正確性。同時(shí),建立了一套拼接檢測(cè)系統(tǒng),展開(kāi)了大口徑平面光學(xué)元件的子孔徑拼接檢測(cè)實(shí)驗(yàn)研究,實(shí)驗(yàn)利用二維分布的9個(gè)60mm×60mm子孔徑拼接檢測(cè)12

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