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1、光罩在晶圓廠的日常使用中會(huì)因?yàn)榄h(huán)境、光罩存儲(chǔ)方式等因素的影響產(chǎn)生霧狀缺陷(Haze),目前在全世界范圍內(nèi)還是個(gè)無(wú)法避免和解決的課題。在晶圓廠內(nèi),Haze的產(chǎn)生是正?，F(xiàn)象并不可怕,真正對(duì)生產(chǎn)上有影響的是Haze的光罩沒(méi)有被及時(shí)發(fā)現(xiàn),仍在使用造成產(chǎn)品因?yàn)楣庹諬aze的影響而造成良率的損失以及光罩因Haze去送修造成產(chǎn)品生產(chǎn)周期的延遲。所以目前國(guó)內(nèi)外對(duì)于Haze的研究也大部分都集中在如何及時(shí)發(fā)現(xiàn)Haze,降低影響。本文研究目標(biāo)是通過(guò)對(duì)現(xiàn)有光罩
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