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1、丫771905梗旦大學(xué)碩士學(xué)位論文LED器件及芯片分析技術(shù)的研究院系(所):材料科學(xué)系專(zhuān)、峨姓名:指導(dǎo)教師:完成日期:材科物理與化學(xué)樊華李越生教授2005年5月20口哮茬作者、辱師同疆勃全文公布”學(xué)校代碼學(xué)號(hào)10246022030015AnalysisTechnologyResearchofLEDDeviceandEpitaxyWaferAbstract:Semic』3nductorf秘temittingdiodes(LEDQhaveb
2、eenfookedas函enextgenerationlightingsourcesTraditionallightingsourcesaredestinedtobereplacedbyLEDsbecausetheirpotentialefficiencyandlongevityfarexceedsthatofexistinglightingtechnologiesHowevercurrentstate—ofthe—artLEDperf
3、ormanceisfarbelowthislimit,andreachingitrequiresthatseveralmajortechnicalobstaclesbeovercomeItshouldputmoreattentionintheseareas,includingthedistributionofmaterialsanalysis,deviceanalysistechnologyetcInthisthesis,Wefocus
4、on5rampackagingLEDdeviceandInGaAIPepitaxywaferAanalysisoftheLEDdevicepackagingstructureandtheepitaxystructure,component,interfacewillbeintroduceddetailedlyBythismeans,somemicroanalysistechniques,includingCSAM,SEM,XRD,TEM
5、,SIMS,etcareinvestigatedBasedonthisresearchwork,anintegratedanalysistechnologyisbroughtout,whichwillbehelpfultodevicefailureanalysis,epitaxyprocessmonitorandprocessimprovementKeywords:ightemittingdiode(LED),LEDdeviceanal
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