MEMS器件電學(xué)測量系統(tǒng)及在可靠性測試中的應(yīng)用.pdf

1、AMEMSELECTRICALMEASU砌NGSYSTEMANDUSINGFoRRELIABILITYTESTADissertationSubmiRedtoSoutheastUniversityFortheAcademicDegreeofMasterofEngineeringBYJuYiSupervisedbyProfTangJieyingSchoolofElectronicScienceandEngineeringSoutheastU

2、niversityMay2010摘要摘要隨著MEMS技術(shù)研究的日益深入，MEMS產(chǎn)品已經(jīng)逐漸進入消費電子、汽車、通信、生物醫(yī)療、航天、國防等各大應(yīng)用領(lǐng)域，而MEMS的可靠性問題也隨之變得越來越突出，已經(jīng)成為制約MEMS產(chǎn)業(yè)進一步發(fā)展的重要囚素。電學(xué)測量技術(shù)易于控制，測量方便，廣泛應(yīng)用于MEMS可靠性測量中，并發(fā)揮著重要作用。近年來，計算機與電子測量儀器相結(jié)合，構(gòu)成了虛擬儀器測試系統(tǒng)。用戶通過友好的圖形界面操作計算機，完成對被測量的數(shù)據(jù)采

3、集、分析、處理、顯示、存儲等整套測試工作。虛擬儀器技術(shù)日益成為重要的測量技術(shù)。本論文主要基于虛擬儀器概念，運用LABVIEW語言編程控制實驗流程，構(gòu)建了實驗室MEMS電學(xué)測量系統(tǒng)。該系統(tǒng)能夠按照實驗的要求調(diào)用多種測量儀器的控制程序，并應(yīng)用各種控制方案，對實驗數(shù)據(jù)進行存儲，且具備環(huán)境可控的功能，從而實現(xiàn)了整個實驗過程的自動化。本文應(yīng)用以上電學(xué)測量系統(tǒng)完成了MEMS疲勞電阻測量實驗。采用外加靜電激勵的方法使梁發(fā)生振動，每隔一定的時間測量雙端