MEMS器件電學測量系統及在可靠性測試中的應用.pdf_第1頁
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1、AMEMSELECTRICALMEASU砌NGSYSTEMANDUSINGFoRRELIABILITYTESTADissertationSubmiRedtoSoutheastUniversityFortheAcademicDegreeofMasterofEngineeringBYJuYiSupervisedbyProfTangJieyingSchoolofElectronicScienceandEngineeringSoutheastU

2、niversityMay2010摘要摘要隨著MEMS技術研究的日益深入，MEMS產品已經逐漸進入消費電子、汽車、通信、生物醫(yī)療、航天、國防等各大應用領域，而MEMS的可靠性問題也隨之變得越來越突出，已經成為制約MEMS產業(yè)進一步發(fā)展的重要囚素。電學測量技術易于控制，測量方便，廣泛應用于MEMS可靠性測量中，并發(fā)揮著重要作用。近年來，計算機與電子測量儀器相結合，構成了虛擬儀器測試系統。用戶通過友好的圖形界面操作計算機，完成對被測量的數據采

3、集、分析、處理、顯示、存儲等整套測試工作。虛擬儀器技術日益成為重要的測量技術。本論文主要基于虛擬儀器概念，運用LABVIEW語言編程控制實驗流程，構建了實驗室MEMS電學測量系統。該系統能夠按照實驗的要求調用多種測量儀器的控制程序，并應用各種控制方案，對實驗數據進行存儲，且具備環(huán)境可控的功能，從而實現了整個實驗過程的自動化。本文應用以上電學測量系統完成了MEMS疲勞電阻測量實驗。采用外加靜電激勵的方法使梁發(fā)生振動，每隔一定的時間測量雙端

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