應(yīng)用于光通信的非硅基底光開(kāi)關(guān)與光衰減器的研究.pdf_第1頁(yè)
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1、　　本文在閱讀國(guó)內(nèi)外相關(guān)文獻(xiàn)的基礎(chǔ)上，利用實(shí)驗(yàn)室現(xiàn)有條件，對(duì)基于非硅基微加工技術(shù)的光開(kāi)關(guān)及可調(diào)光衰減器的設(shè)計(jì)、制作進(jìn)行了分析探討和深入研究?！　”疚慕榻B了全光通信與光無(wú)源器件的背景情況，研制開(kāi)發(fā)了一種全金屬化非硅基底可擴(kuò)展1×8微加工型光開(kāi)關(guān)；應(yīng)用有限元方法進(jìn)行了器件開(kāi)關(guān)時(shí)間的理論分析，器件的結(jié)構(gòu)優(yōu)化設(shè)計(jì)，并給出樣品的實(shí)測(cè)結(jié)果；設(shè)計(jì)制作了數(shù)字化高速可調(diào)光衰減器是基于微加工驅(qū)動(dòng)器的透射微鏡陣列，此方案結(jié)構(gòu)獨(dú)特，能在小于2ms的短時(shí)間里實(shí)

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