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1、 本文通過分析國內(nèi)外相關(guān)納米結(jié)構(gòu)加工及納米定位控制技術(shù)的研究現(xiàn)狀，針對基于掃描探針顯微鏡的微加工系統(tǒng)中采用原子力微探針刻劃加工時深度不可控的問題，提出了新型加工控制策略并研制了相應(yīng)的專用控制器。首先，結(jié)合原子力微探針和高精度三維微動工作臺組建了微加工系統(tǒng)，設(shè)計了較優(yōu)的微探針加工控制方式；其次，在深入分析微加工工作過程的基礎(chǔ)上，引入變參數(shù)PID控制算法，設(shè)計并研制了相應(yīng)的專用控制器及試驗軟件，以實現(xiàn)直接控制加工深度進行刻劃加工；最后
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