液體中輕敲模式下具有品質(zhì)因數(shù)控制技術(shù)的AFM微懸臂梁檢測(cè)技術(shù)的研究.pdf

1、自從原子力顯微鏡(AFM)誕生以來(lái),其檢測(cè)技術(shù)得到迅速發(fā)展,應(yīng)用范圍也日趨廣泛.目前,原子力顯微鏡已成功的應(yīng)用于物理、化學(xué)、金屬、半導(dǎo)體、微電子、納米材料、生物、生命科學(xué)等眾多科學(xué)領(lǐng)域中.而且目前已經(jīng)有人利用AFM的微懸臂梁做為傳感器來(lái)檢洲生物化學(xué)反應(yīng),可以說(shuō)AFM已經(jīng)成為進(jìn)行微觀領(lǐng)域研究的重要工具.AFM微懸臂梁有三種工作方式:接觸模式(Contact Mode)、非接觸模式(Non-Contact Mode)和輕敲模式(Tappin

2、g Mode),由于輕敲模式對(duì)樣品的損壞較小,因此在生物化學(xué)檢測(cè)方面具有特別的優(yōu)勢(shì).但是當(dāng)在液體中應(yīng)用輕敲模式時(shí),微懸臂梁的品質(zhì)因數(shù)會(huì)大幅降低,從而影響微懸臂梁的檢測(cè)精度,嚴(yán)重時(shí)甚至使檢測(cè)無(wú)法進(jìn)行.因此提高品質(zhì)因數(shù)成為提高液體中輕敲模式檢測(cè)效果的關(guān)鍵.該課題分析了品質(zhì)因數(shù)控制技術(shù)的原理,在此基礎(chǔ)上設(shè)計(jì)了品質(zhì)因數(shù)控制電路,并與DI公司的MultiMode SPM連接在一起構(gòu)成一個(gè)完整系統(tǒng).通過(guò)實(shí)驗(yàn)驗(yàn)證了品質(zhì)因數(shù)控制電路的效果,從而證明了品